KLA-Tencor公司助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展
KLA-Tencor的業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體的多個(gè)領(lǐng)域,從硅片檢測(cè)到線(xiàn)寬量測(cè),以及光罩部分,KLA-Tencor都在業(yè)界處于領(lǐng)先水平。同時(shí),KLA-Tencor也在積極向LED等新的領(lǐng)域擴(kuò)展。 除了這些業(yè)務(wù)以外,KLA-Tencor還提供技術(shù)支持與服務(wù),幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)更大的生產(chǎn)價(jià)值。KLA-Tencor在中國(guó)的總部位于上海,在北京、天津、蘇州、無(wú)錫、大連、西安、武漢都設(shè)有分支機(jī)構(gòu)??倖T工人數(shù)超過(guò)190人,裝機(jī)量突破了1600臺(tái)。KLA-Tencor非常重視中國(guó)市場(chǎng),在中國(guó)進(jìn)行了持續(xù)的投資以實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的發(fā)展。我們立志于幫助中國(guó)客戶(hù)一起提升良率,降低生產(chǎn)成本,提高生產(chǎn)效率。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/265759.htm半導(dǎo)體制程控制設(shè)備的市場(chǎng)大約有49億美元,制程控制的成本大約占總生產(chǎn)成本的15%,在半導(dǎo)體制造中有著舉足輕重的作用。KLA-Tencor用于研發(fā)的費(fèi)用逐年遞增。大量的研發(fā)投入確保了KLA-Tencor在檢測(cè)技術(shù)上的領(lǐng)先地位。客戶(hù)對(duì)未來(lái)的電子產(chǎn)品提出了更高的要求,包括更多的功能,更快的速度,更低的成本,更長(zhǎng)的電池使用壽命等。這就要求業(yè)界能夠提供更好的技術(shù)以實(shí)現(xiàn)這些需求。如果我們無(wú)法發(fā)現(xiàn)缺陷,那么就無(wú)法對(duì)缺陷定位;如果無(wú)法測(cè)量缺陷,那么就無(wú)法有效的控制制程。良率控制在整個(gè)制程中非常關(guān)鍵,產(chǎn)品從研發(fā)到上線(xiàn)大約為12到24個(gè)月。因此若無(wú)法迅速的使產(chǎn)品上線(xiàn),那么將會(huì)會(huì)喪失市場(chǎng)份額和競(jìng)爭(zhēng)力。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨很多挑戰(zhàn),有技術(shù)上的提升,也有成本上的挑戰(zhàn),還有產(chǎn)業(yè)中持續(xù)進(jìn)行的兼并整合。同時(shí)產(chǎn)業(yè)也充滿(mǎn)著不確定性。新的結(jié)構(gòu)、材料以及封裝技術(shù)將取代2D產(chǎn)品。EUV光刻技術(shù)將被推遲到2018年以后。大尺寸的450mm晶圓也將有可能延遲。產(chǎn)業(yè)的整合帶來(lái)了更嚴(yán)峻的競(jìng)爭(zhēng)。半導(dǎo)體的技術(shù)拐點(diǎn)非常難以預(yù)測(cè)。2011年業(yè)界預(yù)測(cè)EUV將在14nm使用,今天看來(lái)EUV技術(shù)有可能延遲到2018年的7nm節(jié)點(diǎn)。預(yù)測(cè)相對(duì)準(zhǔn)確的是邏輯FinFET結(jié)構(gòu),它在2012年得以應(yīng)用在實(shí)際生產(chǎn)中。
隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展,制程的步驟越來(lái)越多,工藝也更加復(fù)雜化。例如在14nm, 采用EUV光刻技術(shù)的制程步驟將超過(guò)700步,而采用多重圖形技術(shù)的步驟則為1000步甚至更多。工藝窗口的挑戰(zhàn)要求幾乎“零缺陷”, 對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求。KLA-Tencor與客戶(hù)進(jìn)行了緊密的合作。當(dāng)客戶(hù)在生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中遇到了新的挑戰(zhàn)時(shí),KLA-Tencor的工程師在第一時(shí)間了解客戶(hù)的需求,借助自身強(qiáng)大的研發(fā)能力解決客戶(hù)的難題。經(jīng)過(guò)不斷的反饋與修正,最終實(shí)現(xiàn)和客戶(hù)之間的共同研發(fā)和進(jìn)步。
KLA-Tencor的產(chǎn)品線(xiàn)非常豐富,涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn),包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜、關(guān)鍵尺寸等等。KLA-Tencor的設(shè)備也同時(shí)提供數(shù)據(jù)的分析和儲(chǔ)存。在其它領(lǐng)域,如高亮度LED、MEMS、功率器件等,KLA-Tencor也為客戶(hù)提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺(tái)。
以下是媒體記者會(huì)上,我們對(duì)首席營(yíng)銷(xiāo)官Brian Trafas博士的采訪:
Q: 28nm節(jié)點(diǎn)的投入與產(chǎn)出并不完全匹配,KLA-Tencor如何看待這一問(wèn)題?
A: 更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)意味著更大的研發(fā)投入,也就是成本的上升。所以隨著成本的增加,良率的提升就顯得尤為重要,良率與成本需要達(dá)到平衡。同時(shí)要盡量縮短從研發(fā)到上線(xiàn),再到最終產(chǎn)品的周期。上市的周期縮短了才能更快的實(shí)現(xiàn)盈利。KLA-Tencor一直致力于幫助客戶(hù)加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期,從而降低成本。
Q:可穿戴電子設(shè)備是半導(dǎo)體芯片應(yīng)用的新領(lǐng)域。它具有更多的功能和很多的傳感器,意味著芯片的結(jié)構(gòu)也更加復(fù)雜。那么這樣復(fù)雜的芯片制造對(duì)于檢測(cè)技術(shù)提出了哪些新的挑戰(zhàn)?
A:我們非常贊同您的觀點(diǎn)。成本是非常重要的,更加復(fù)雜的功能確實(shí)對(duì)芯片制造提出了更高的要求,這些新的挑戰(zhàn)有很多是在封裝和良率控制方面。KLA-Tencor也有專(zhuān)門(mén)的機(jī)臺(tái)服務(wù)于這些領(lǐng)域。
Q:KLA-Tencor目前在中國(guó)的機(jī)臺(tái)數(shù)量超過(guò)1600臺(tái),請(qǐng)問(wèn)今年的訂單狀況如何?對(duì)明年有什么預(yù)期?今年中國(guó)政府出臺(tái)了很多政策扶持產(chǎn)業(yè)發(fā)展,包括國(guó)家專(zhuān)項(xiàng)基金。 KLA-Tencor如何看待這些政策對(duì)產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)作用?
A: KLA-Tencor非??粗刂袊?guó)市場(chǎng)。 KLA-Tencor在中國(guó)發(fā)展的這些年里,有時(shí)比較順利,有時(shí)也面臨很多問(wèn)題,目前,國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(一期規(guī)模1200億)獲批,聚焦制造和設(shè)計(jì)兩個(gè)核心環(huán)節(jié),同時(shí)北京、安徽、天津等地相繼出臺(tái)了集成電路扶持意見(jiàn)。因此,中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)重要發(fā)展機(jī)遇。因此,KLA-Tencor公司也將加大在中國(guó)的投入力度,全力支持中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。但總的來(lái)說(shuō),道路是曲折的,前途是光明的,我們相信未來(lái)的中國(guó)市場(chǎng)會(huì)有很好的發(fā)展前景。無(wú)論產(chǎn)業(yè)的起起伏伏,我們看到了政府對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力支持,無(wú)論大環(huán)境還是小環(huán)境,中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展。雖然對(duì)未來(lái)做精確的預(yù)測(cè)比較難,但是未來(lái)的一年我們認(rèn)為應(yīng)該會(huì)是一個(gè)不錯(cuò)的年份。KLA-Tencor在中國(guó)的客戶(hù)包括了幾乎所有的晶圓廠,無(wú)論是中國(guó)本土的華虹宏利、中芯國(guó)際,或是制程集中在6寸的先進(jìn)半導(dǎo)體,也包括了合資的企業(yè)例如海力士、TSMC、三星、Intel等。國(guó)內(nèi)的很多半導(dǎo)體工藝設(shè)備廠商也是我們的客戶(hù),因?yàn)樗麄冃枰玫終LA-Tencor的機(jī)臺(tái)來(lái)檢測(cè)自己的工藝是否合格。總之,KLA-Tencor對(duì)于中國(guó)的市場(chǎng)非常有信心。
Q:有一些外資企業(yè)通過(guò)參股中國(guó)本土半導(dǎo)體公司的方式來(lái)共享政府的紅利。請(qǐng)問(wèn)KLA-Tencor是否有計(jì)劃通過(guò)資金投入的方式獲得同樣的紅利?
A:KLA-Tencor在中國(guó)的研發(fā)投入一直在不斷加大,我們有一些專(zhuān)門(mén)的部門(mén)在負(fù)責(zé)這方面的事項(xiàng)。中國(guó)不僅有好的政策支持,也擁有大量的優(yōu)秀人才和市場(chǎng),KLA-Tencor在未來(lái)會(huì)把一些可以拿到中國(guó)來(lái)的研發(fā)工作盡量放到中國(guó)來(lái)做。KLA-Tencor不僅為客戶(hù)提供服務(wù)和支持,同樣也在研發(fā)資金方面進(jìn)行持續(xù)的投入。
Q: KLA-Tencor目前在中國(guó)集中在上海及附近的地區(qū),但是中國(guó)很多地方爭(zhēng)睹希望吸引到更多的公司到當(dāng)?shù)亟◤S或設(shè)立配套設(shè)施。請(qǐng)問(wèn)KLA-Tencor未來(lái)有沒(méi)有考慮將配套設(shè)施擴(kuò)大到中國(guó)的其他區(qū)域?
A:上海市中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最集中的地區(qū),KLA-Tencor除了在上海設(shè)有辦事處外,在北京、西安、無(wú)錫等地也都有據(jù)點(diǎn)。我們的原則是客戶(hù)去哪里我們就去哪里。KLA-Tencor會(huì)盡自己的所能幫助客戶(hù)取得最大的成功。
Q:KLA-Tencor對(duì)未來(lái)LED產(chǎn)業(yè)有什么樣的規(guī)劃?對(duì)目前中國(guó)LED產(chǎn)能過(guò)剩的情況有什么看法?
A:KLA-Tencor的主要業(yè)務(wù)還是半導(dǎo)體,但是我們一直在關(guān)注LED產(chǎn)業(yè),也注意到了產(chǎn)能過(guò)剩的現(xiàn)象。KLA-Tencor的LED產(chǎn)品主要集中于襯底的測(cè)量,以及高端LED工藝的檢測(cè)。另外襯底同樣也可以應(yīng)用于其它的新興領(lǐng)域例如功率器件,因此對(duì)于KLA-Tencor來(lái)說(shuō),我們的檢測(cè)設(shè)備擁有更廣闊的市場(chǎng)。受前兩年國(guó)內(nèi)部分地方政府財(cái)政補(bǔ)貼引發(fā)企業(yè)投資熱潮,而LED照明市場(chǎng)又因價(jià)格過(guò)高制約市場(chǎng)普及的影響,國(guó)內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)近兩年深陷產(chǎn)能過(guò)剩困境。雖然現(xiàn)在中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)目前雖面臨產(chǎn)能過(guò)剩,但未來(lái)肯定會(huì)扭轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)。
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