KLA-Tencor公司助力中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

　　KLA-Tencor的業(yè)務(wù)涵蓋了半導(dǎo)體的多個(gè)領(lǐng)域，從硅片檢測(cè)到線寬量測(cè)，以及光罩部分，KLA-Tencor都在業(yè)界處于領(lǐng)先水平。同時(shí)，KLA-Tencor也在積極向LED等新的領(lǐng)域擴(kuò)展。 除了這些業(yè)務(wù)以外，KLA-Tencor還提供技術(shù)支持與服務(wù)，幫助客戶實(shí)現(xiàn)更大的生產(chǎn)價(jià)值。KLA-Tencor在中國(guó)的總部位于上海，在北京、天津、蘇州、無(wú)錫、大連、西安、武漢都設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。總員工人數(shù)超過(guò)190人，裝機(jī)量突破了1600臺(tái)。KLA-Tencor非常重視中國(guó)市場(chǎng)，在中國(guó)進(jìn)行了持續(xù)的投資以實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步的發(fā)展。我們立志于幫助中國(guó)客戶一起提升良率，降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。

　　半導(dǎo)體制程控制設(shè)備的市場(chǎng)大約有49億美元，制程控制的成本大約占總生產(chǎn)成本的15%，在半導(dǎo)體制造中有著舉足輕重的作用。KLA-Tencor用于研發(fā)的費(fèi)用逐年遞增。大量的研發(fā)投入確保了KLA-Tencor在檢測(cè)技術(shù)上的領(lǐng)先地位?？蛻魧?duì)未來(lái)的電子產(chǎn)品提出了更高的要求，包括更多的功能，更快的速度，更低的成本，更長(zhǎng)的電池使用壽命等。這就要求業(yè)界能夠提供更好的技術(shù)以實(shí)現(xiàn)這些需求。如果我們無(wú)法發(fā)現(xiàn)缺陷，那么就無(wú)法對(duì)缺陷定位;如果無(wú)法測(cè)量缺陷，那么就無(wú)法有效的控制制程。良率控制在整個(gè)制程中非常關(guān)鍵，產(chǎn)品從研發(fā)到上線大約為12到24個(gè)月。因此若無(wú)法迅速的使產(chǎn)品上線，那么將會(huì)會(huì)喪失市場(chǎng)份額和競(jìng)爭(zhēng)力。

　　半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)面臨很多挑戰(zhàn)，有技術(shù)上的提升，也有成本上的挑戰(zhàn)，還有產(chǎn)業(yè)中持續(xù)進(jìn)行的兼并整合。同時(shí)產(chǎn)業(yè)也充滿著不確定性。新的結(jié)構(gòu)、材料以及封裝技術(shù)將取代2D產(chǎn)品。EUV光刻技術(shù)將被推遲到2018年以后。大尺寸的450mm晶圓也將有可能延遲。產(chǎn)業(yè)的整合帶來(lái)了更嚴(yán)峻的競(jìng)爭(zhēng)。半導(dǎo)體的技術(shù)拐點(diǎn)非常難以預(yù)測(cè)。2011年業(yè)界預(yù)測(cè)EUV將在14nm使用，今天看來(lái)EUV技術(shù)有可能延遲到2018年的7nm節(jié)點(diǎn)。預(yù)測(cè)相對(duì)準(zhǔn)確的是邏輯FinFET結(jié)構(gòu)，它在2012年得以應(yīng)用在實(shí)際生產(chǎn)中。

　　隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，制程的步驟越來(lái)越多，工藝也更加復(fù)雜化。例如在14nm, 采用EUV光刻技術(shù)的制程步驟將超過(guò)700步，而采用多重圖形技術(shù)的步驟則為1000步甚至更多。工藝窗口的挑戰(zhàn)要求幾乎“零缺陷”， 對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求。KLA-Tencor與客戶進(jìn)行了緊密的合作。當(dāng)客戶在生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中遇到了新的挑戰(zhàn)時(shí)，KLA-Tencor的工程師在第一時(shí)間了解客戶的需求，借助自身強(qiáng)大的研發(fā)能力解決客戶的難題。經(jīng)過(guò)不斷的反饋與修正，最終實(shí)現(xiàn)和客戶之間的共同研發(fā)和進(jìn)步。

　　KLA-Tencor的產(chǎn)品線非常豐富，涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn)，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜、關(guān)鍵尺寸等等。KLA-Tencor的設(shè)備也同時(shí)提供數(shù)據(jù)的分析和儲(chǔ)存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺(tái)。

　　以下是媒體記者會(huì)上，我們對(duì)首席營(yíng)銷(xiāo)官Brian Trafas博士的采訪：

　　Q: 28nm節(jié)點(diǎn)的投入與產(chǎn)出并不完全匹配，KLA-Tencor如何看待這一問(wèn)題?

　　A: 更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)意味著更大的研發(fā)投入，也就是成本的上升。所以隨著成本的增加，良率的提升就顯得尤為重要，良率與成本需要達(dá)到平衡。同時(shí)要盡量縮短從研發(fā)到上線，再到最終產(chǎn)品的周期。上市的周期縮短了才能更快的實(shí)現(xiàn)盈利。KLA-Tencor一直致力于幫助客戶加快產(chǎn)品開(kāi)發(fā)周期，從而降低成本。

　　Q：可穿戴電子設(shè)備是半導(dǎo)體芯片應(yīng)用的新領(lǐng)域。它具有更多的功能和很多的傳感器，意味著芯片的結(jié)構(gòu)也更加復(fù)雜。那么這樣復(fù)雜的芯片制造對(duì)于檢測(cè)技術(shù)提出了哪些新的挑戰(zhàn)?

　　A：我們非常贊同您的觀點(diǎn)。成本是非常重要的，更加復(fù)雜的功能確實(shí)對(duì)芯片制造提出了更高的要求，這些新的挑戰(zhàn)有很多是在封裝和良率控制方面。KLA-Tencor也有專門(mén)的機(jī)臺(tái)服務(wù)于這些領(lǐng)域。

　　Q：KLA-Tencor目前在中國(guó)的機(jī)臺(tái)數(shù)量超過(guò)1600臺(tái)，請(qǐng)問(wèn)今年的訂單狀況如何?對(duì)明年有什么預(yù)期?今年中國(guó)政府出臺(tái)了很多政策扶持產(chǎn)業(yè)發(fā)展，包括國(guó)家專項(xiàng)基金。 KLA-Tencor如何看待這些政策對(duì)產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)作用?

　　A: KLA-Tencor非?？粗刂袊?guó)市場(chǎng)。 KLA-Tencor在中國(guó)發(fā)展的這些年里，有時(shí)比較順利，有時(shí)也面臨很多問(wèn)題，目前，國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(一期規(guī)模1200億)獲批，聚焦制造和設(shè)計(jì)兩個(gè)核心環(huán)節(jié)，同時(shí)北京、安徽、天津等地相繼出臺(tái)了集成電路扶持意見(jiàn)。因此，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)將迎來(lái)重要發(fā)展機(jī)遇。因此，KLA-Tencor公司也將加大在中國(guó)的投入力度，全力支持中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。但總的來(lái)說(shuō)，道路是曲折的，前途是光明的，我們相信未來(lái)的中國(guó)市場(chǎng)會(huì)有很好的發(fā)展前景。無(wú)論產(chǎn)業(yè)的起起伏伏，我們看到了政府對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力支持，無(wú)論大環(huán)境還是小環(huán)境，中國(guó)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展。雖然對(duì)未來(lái)做精確的預(yù)測(cè)比較難，但是未來(lái)的一年我們認(rèn)為應(yīng)該會(huì)是一個(gè)不錯(cuò)的年份。KLA-Tencor在中國(guó)的客戶包括了幾乎所有的晶圓廠，無(wú)論是中國(guó)本土的華虹宏利、中芯國(guó)際，或是制程集中在6寸的先進(jìn)半導(dǎo)體，也包括了合資的企業(yè)例如海力士、TSMC、三星、Intel等。國(guó)內(nèi)的很多半導(dǎo)體工藝設(shè)備廠商也是我們的客戶，因?yàn)樗麄冃枰玫終LA-Tencor的機(jī)臺(tái)來(lái)檢測(cè)自己的工藝是否合格?？傊琄LA-Tencor對(duì)于中國(guó)的市場(chǎng)非常有信心。

　　Q：有一些外資企業(yè)通過(guò)參股中國(guó)本土半導(dǎo)體公司的方式來(lái)共享政府的紅利。請(qǐng)問(wèn)KLA-Tencor是否有計(jì)劃通過(guò)資金投入的方式獲得同樣的紅利?

　　A：KLA-Tencor在中國(guó)的研發(fā)投入一直在不斷加大，我們有一些專門(mén)的部門(mén)在負(fù)責(zé)這方面的事項(xiàng)。中國(guó)不僅有好的政策支持，也擁有大量的優(yōu)秀人才和市場(chǎng)，KLA-Tencor在未來(lái)會(huì)把一些可以拿到中國(guó)來(lái)的研發(fā)工作盡量放到中國(guó)來(lái)做。KLA-Tencor不僅為客戶提供服務(wù)和支持，同樣也在研發(fā)資金方面進(jìn)行持續(xù)的投入。

　　Q: KLA-Tencor目前在中國(guó)集中在上海及附近的地區(qū)，但是中國(guó)很多地方爭(zhēng)睹希望吸引到更多的公司到當(dāng)?shù)亟◤S或設(shè)立配套設(shè)施。請(qǐng)問(wèn)KLA-Tencor未來(lái)有沒(méi)有考慮將配套設(shè)施擴(kuò)大到中國(guó)的其他區(qū)域?

　　A：上海市中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最集中的地區(qū)，KLA-Tencor除了在上海設(shè)有辦事處外，在北京、西安、無(wú)錫等地也都有據(jù)點(diǎn)。我們的原則是客戶去哪里我們就去哪里。KLA-Tencor會(huì)盡自己的所能幫助客戶取得最大的成功。

　　Q：KLA-Tencor對(duì)未來(lái)LED產(chǎn)業(yè)有什么樣的規(guī)劃?對(duì)目前中國(guó)LED產(chǎn)能過(guò)剩的情況有什么看法?

　　A：KLA-Tencor的主要業(yè)務(wù)還是半導(dǎo)體，但是我們一直在關(guān)注LED產(chǎn)業(yè)，也注意到了產(chǎn)能過(guò)剩的現(xiàn)象。KLA-Tencor的LED產(chǎn)品主要集中于襯底的測(cè)量，以及高端LED工藝的檢測(cè)。另外襯底同樣也可以應(yīng)用于其它的新興領(lǐng)域例如功率器件，因此對(duì)于KLA-Tencor來(lái)說(shuō)，我們的檢測(cè)設(shè)備擁有更廣闊的市場(chǎng)。受前兩年國(guó)內(nèi)部分地方政府財(cái)政補(bǔ)貼引發(fā)企業(yè)投資熱潮，而LED照明市場(chǎng)又因價(jià)格過(guò)高制約市場(chǎng)普及的影響，國(guó)內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)近兩年深陷產(chǎn)能過(guò)剩困境。雖然現(xiàn)在中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)目前雖面臨產(chǎn)能過(guò)剩，但未來(lái)肯定會(huì)扭轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)。