意法半導體(ST)領導歐洲研發(fā)項目，開發(fā)下一代光學MEMS產(chǎn)品

　　橫跨多重電子應用領域、全球領先的半導體供應商意法半導體(STMicroelectronics，簡稱ST) 宣布將擔任Lab4MEMS II項目負責人。Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS項目 (于2013年4月啟動) 的的成功經(jīng)驗為基礎而被展期的第二代項目，主要研究課題是整合MEMS[1] 和微光學 (Micro-optics) 的微光電機械系統(tǒng) (MOEMS，Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems)，該系統(tǒng)可通過機械光電集成化系統(tǒng)發(fā)現(xiàn)或控制光信號，同時保留原項目為日后升級開發(fā)的下一代MEMS元件試生產(chǎn)線。下一代的MEMS元件通過應用壓電 (piezoelectric) 或磁材料和3D封裝等先進技術，大幅度強化了產(chǎn)品的性能。如同第一代項目一樣，Lab4MEMS II同樣是由納米電子行業(yè)公私合營組織：歐洲納米計劃顧問委員會 (ENIAC，European Nanoelectronics Initiative Advisory Council) 合作組織(JU，Joint Undertaking) 所發(fā)起。

　　Lab4MEMS II是一個耗資2600萬歐元 (3000萬美元) 的項目，合作組織包括來自9個歐洲國家的20個工業(yè)、學術和科研組織。憑借第一代Lab4MEMS項目打下的成功基礎，Lab4MEMS II項目委托意法半導體擔任項目協(xié)調人，為研發(fā)活動提供完整的制造、技術和組織服務，引領微光電機械系統(tǒng)的研究發(fā)展，保證歐洲MEMS工業(yè)在世界的領先地位。

　　意法半導體擁有近1000項MEMS專利權，產(chǎn)品銷量已突破80億顆，內部日產(chǎn)量超過400萬顆，這讓意法半導體成為歐洲MEMS項目負責人的最佳人選。Lab4MEMS II項目的主要研究目標是采用光學和標準微加工技術進行設計、制造及測試各種器件，包括光開關 (optical switche)、微反射鏡陣列 (micro-mirror)、光交叉連接器 (optical cross-connect)、激光器、微透鏡 (micro lenses)，以縮減器件尺寸，制造更先進的光學系統(tǒng)。微光電系統(tǒng)是研發(fā)未來高價值商用產(chǎn)品的理想平臺，例如光開關、微反射鏡器件和動態(tài)顯示器 (dynamic display)、光學雙穩(wěn)態(tài)器件 (bi-stable)、光閘 (optical shutter)，這些光學器件可用于微型投影機、激光掃描儀、新一代人機界面以及微型光譜儀 (micro-spectrometer)。該項目以實現(xiàn)最佳化的單軸雙反射鏡 (dual single-axis mirror) 的制程為目標，并致力于研究開發(fā)雙軸單鏡的各種應用可能性。

　　Lab4MEMS II是ENIAC JU簽定的關鍵使能技術 (KET，Key Enabling Technologies) 試生產(chǎn)線項目，旨在于開發(fā)對社會影響巨大的技術和應用。意法半導體歐洲研發(fā)與公共事務部項目經(jīng)理Roberto Zafalon表示：“ENIAC JU 研究項目的宗旨與意法半導體利用科技提高人們生活品質的價值觀和承諾完全一致。微光電機械系統(tǒng)是一項很有前景的多功能技術，能夠使關鍵的光學系統(tǒng)實現(xiàn)小型化，使項目合作方和包括ENIAC成員國在內的利益相關者從中受益。我們期望開發(fā)成果最終可轉化為促進長期的經(jīng)濟增長，創(chuàng)造高價值知識型就業(yè)機會的動力，進一步促進經(jīng)濟繁榮并造福社會。”

　　Lab4MEMS II試生產(chǎn)線將擴大意法半導體 Agrate Brianza的 200mm晶片制造廠的產(chǎn)能，并在現(xiàn)有技術組合中增加光學技術。此外，該生產(chǎn)線還將有助于意法半導體提升這些戰(zhàn)略性技術的實際研發(fā)經(jīng)驗，同時整合科研能力與各種微型智能系統(tǒng)芯片的研制能力。不僅如此，該項目還將評估晶片未來升級到300mm的潛在優(yōu)勢和影響。

　　ENIAC JU是一個公私合營的產(chǎn)學聯(lián)盟，成員包括ENIAC成員國、歐盟和歐洲納米電子技術研究協(xié)會 (AENEAS，Association for European Nanoelectronics Activities)。目前該組織通過競標的形式為其研發(fā)項目提供大約18億歐元的研發(fā)經(jīng)費。意法半導體負責的Lab4MEMS II項目于2013年秋季中標，2014年11月啟動。

　　除意法半導體外，Lab4MEMS II 項目合作方還包括：Politecnico di Torino and di Milano; Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica; CNR-IMM MDM; Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives; ARKEMA SA; University of Malta; Okmetic Oyj; MURATA Electronics; VTT Memsfab Ltd; Teknologian tutkimuskeskus VTT; Aalto University; KLA-Tencor ICOS; University POLITEHNICA of Bucharest - CSSNT; Instytut Technologii Elektronowej; Warsaw; Stiftelsen SINTEF; Polewall AS; Besi Austria GmbH。

　　[1] MEMS =微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems)