智能 IMU增長快，F(xiàn)airchild九軸MEMS蘊含多種技術

　　據(jù)IHS，IMU(慣性測量單元)預計2019年將達到20億件市場規(guī)模(圖1)，主要應用與增強現(xiàn)實與虛擬現(xiàn)實、智能手機、無人機、自動機器人/掃地機器人、智能手表和健身腕帶、3D人體跟蹤等。IMU對整體算法要求較高，因為傳感器往往是六軸、九軸等多軸產(chǎn)品。

　　圖1 2012-2019年分立和IMU消費類市場

　　為了適合這種發(fā)展趨勢，近日Fairchild公司推出 FIS1100六軸 MEMS IMU，集成了專有的AttitudeEngine運動處理器以及九軸傳感器融合算法，實現(xiàn)了低至1/10的處理功耗，可用于支持運動、采用電池供電的應用中。

　　圖2 Fairchild的智能IMU與傳統(tǒng)架構對比

　　相比傳統(tǒng)架構，AttitudeEngine在內(nèi)部以高速率處理六軸慣性數(shù)據(jù)，并以與應用需要匹配的低速率輸出給主機處理器，因此無需高頻率中斷。這樣，系統(tǒng)處理器處于休眠模式的時間就更長，從而為客戶提供更長的電池壽命，而不會犧牲功能或準確性。綁定的 XKF3 高性能九軸傳感器融合算法綜合了來自芯片上的陀螺儀和加速計的慣性傳感器數(shù)據(jù)和來自外部磁力計的數(shù)據(jù)。傳感器融合還包括背景自動校準，在準確度、一致性和流動性方面提供卓越的性能。飛兆半導體市場發(fā)展總監(jiān)陳俊稱，結合 XKF3 傳感器融合算法后，F(xiàn)IS1100 成為世界上首款符合定位(四元素)規(guī)范的完整消費電子慣性測量裝置，具有±3°的俯仰和側(cè)滾準確度，以及±5°的偏航準確度。

　　另外，F(xiàn)IS1100 采用 Fairchild 的專有 MEMS 工藝，專門針對慣性傳感器而設計。該工藝包括業(yè)界領先的 60 µm器件層(注：MEMS與AttitudeEngine之間)，具有高縱橫比、硅通孔 (TSV) 互聯(lián)和垂直電極，以及具有雙真空設計的獨特單芯片陀螺儀和加速計。