IMT和北京大學(xué)微電子學(xué)研究院攜手加快MEMS技術(shù)在中國和美國的發(fā)展

　　美國最大的純MEMS技術(shù)和制造服務(wù)提供商IMT公司(Innovative Micro Technology)日前宣布，公司已與北京大學(xué)微電子學(xué)研究院簽署戰(zhàn)略合作伙伴協(xié)議。該協(xié)議著眼于為兩個(gè)組織在技術(shù)開發(fā)和MEMS器件制造等領(lǐng)域內(nèi)構(gòu)建合作框架，并以此促進(jìn)北京大學(xué)微電子學(xué)研究院的在校本科生和研究生潛心于研究MEMS技術(shù)。

　　微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件用于為當(dāng)今的電子產(chǎn)品創(chuàng)造對(duì)接“真實(shí)世界”的各種傳感器件。這些傳感器件通常可見于我們?nèi)粘Ｉ钪兴褂玫母鞣N電子產(chǎn)品之中，如智能手機(jī)、平板電腦、汽車以及構(gòu)成“物聯(lián)網(wǎng)”的其他連網(wǎng)設(shè)備。多年以來，IMT和北京大學(xué)微電子學(xué)研究院均開展了大量涉及MEMS的研究和開發(fā)活動(dòng)，且各自都對(duì)該行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步做出了巨大貢獻(xiàn)。

　　作為該協(xié)議的一部分，IMT將在MEMS研究和開發(fā)這一特定領(lǐng)域?yàn)楸本┐髮W(xué)設(shè)立獎(jiǎng)學(xué)金，尤其關(guān)注MEMS制造工藝技術(shù)的開發(fā)。IMT將每年向三名(個(gè))在MEMS技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)從事特定研究的學(xué)生個(gè)人或團(tuán)隊(duì)提供獎(jiǎng)學(xué)金。其目的在于鼓勵(lì)北京大學(xué)微電子學(xué)研究院的學(xué)生開展創(chuàng)新，并使業(yè)界廣泛認(rèn)識(shí)到MEMS制造工藝技術(shù)給全球通信、人類健康、農(nóng)業(yè)優(yōu)化和可再生能源等領(lǐng)域做出的貢獻(xiàn)。兩個(gè)組織擁有了一個(gè)共同的目標(biāo)，即通過基于MEMS的傳感技術(shù)來實(shí)現(xiàn)“物聯(lián)網(wǎng)”的快速發(fā)展。

　　“數(shù)十年以來，北京大學(xué)微電子學(xué)研究院專注于MEMS技術(shù)的開發(fā)，已取得許多技術(shù)進(jìn)步和突破，”IMT首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示，“我們相信此次IMT有機(jī)會(huì)與北京大學(xué)微電子學(xué)研究院教師和學(xué)生合作，定能使兩個(gè)組織雙雙大受裨益，還會(huì)提高M(jìn)EMS制造工藝技術(shù)在整個(gè)電子行業(yè)的認(rèn)知度。我們期待通過合作改進(jìn)MEMS器件的功能性和可制造性，以實(shí)現(xiàn)傳感技術(shù)在業(yè)內(nèi)的更廣泛應(yīng)用。”

　　“通過與IMT這樣全球領(lǐng)先的MEMS制造服務(wù)公司合作，尤其是通過北京大學(xué)微電子學(xué)研究院和IMT聯(lián)合發(fā)起的 MEMS 制造工藝技術(shù)獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃，”北京大學(xué)微電子學(xué)研究院教授李志宏先生表示，“我們讓同學(xué)們看到了MEMS工藝技術(shù)開發(fā)在制造MEMS器件方面的行業(yè)和商業(yè)價(jià)值，并通過向他們展示畢業(yè)后可在獨(dú)立MEMS器件制造公司或開放型代工廠擔(dān)任工藝技術(shù)開發(fā)工程師這樣一條高價(jià)值職業(yè)道路，來鼓勵(lì)他們努力鉆研MEMS工藝技術(shù)開發(fā)。此外，由于北京大學(xué)微電子學(xué)研究院一直在進(jìn)行許多MEMS研究項(xiàng)目，并已聯(lián)合眾多商業(yè)公司開發(fā)了許多MEMS器件，所以北京大學(xué)微電子學(xué)研究院與IMT之間的合作，可極大地縮短或加速從MEMS研發(fā)原型設(shè)計(jì)向商業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)的過渡。”

　　今年九月，在北京大學(xué)微電子學(xué)研究院教職員對(duì)所有申請(qǐng)獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評(píng)估和答辯后，IMT頒發(fā)了2015年度的三項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金。獲得獎(jiǎng)學(xué)金的分別是劉鵬和張洪澤兩位博士生，以及劉姚萍和張靈倩組成的團(tuán)隊(duì)。這些學(xué)生在MEMS工藝技術(shù)開發(fā)這一領(lǐng)域內(nèi)做出了突出的貢獻(xiàn)，他們?cè)贛EMS工藝技術(shù)方面取得了突破，在MEMS器件制造和相應(yīng)的應(yīng)用中均具有巨大的潛在影響和前景。這是首項(xiàng)在中國專門針對(duì)MEMS制造工藝技術(shù)開發(fā)而設(shè)立的獎(jiǎng)學(xué)金。