國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)中低端突破
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半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)需要?jiǎng)?chuàng)新
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展遵循“摩爾定律”，其顯著的特點(diǎn)就是更新?lián)Q代快，因此對(duì)其進(jìn)行支撐的設(shè)備制造業(yè)更需要加快研究進(jìn)程來(lái)滿足它。
北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司微電子設(shè)備分公司總經(jīng)理盛金龍?jiān)诮邮堋吨袊?guó)電子報(bào)》記者采訪時(shí)表示，半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展本身就是技術(shù)創(chuàng)新的過(guò)程，IC以“摩爾定律”高速發(fā)展，其實(shí)其背后是以設(shè)備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術(shù)總是用新一代設(shè)備實(shí)現(xiàn)的。
中電科技集團(tuán)公司第45研究所副所長(zhǎng)王志越表示，創(chuàng)新對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)非常重要。當(dāng)前半導(dǎo)體設(shè)備的最大特點(diǎn)是不僅僅提供硬件設(shè)備本身，而是承擔(dān)了包括工藝菜單、工藝控制及工藝集成的總體解決方案。也就是說(shuō)設(shè)備是來(lái)自于工藝，通過(guò)創(chuàng)新和工藝物化，又回歸于工藝。所以對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)來(lái)說(shuō)，“創(chuàng)新是賴以生存的基礎(chǔ)，是企業(yè)不斷發(fā)展的保障”，沒(méi)有創(chuàng)新的半
導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)不可能生存。
北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長(zhǎng)秦建國(guó)告訴記者，創(chuàng)新給半導(dǎo)體企業(yè)帶來(lái)更好的活力、更高的效益，企業(yè)有了創(chuàng)新的產(chǎn)品及創(chuàng)新的技術(shù)就會(huì)在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中得到更快更好的發(fā)展，現(xiàn)在中國(guó)電子行業(yè)與國(guó)外電子同行相比，主要是技術(shù)、設(shè)備的落后，引進(jìn)新的技術(shù)、設(shè)備是國(guó)內(nèi)電子行業(yè)發(fā)展的一個(gè)重要辦法，而更重要的是要中國(guó)電子專用設(shè)備的生產(chǎn)制造商能自主研發(fā)、生產(chǎn)出更好的新產(chǎn)品，為中國(guó)電子行業(yè)的發(fā)展提供一個(gè)良好的平臺(tái)。
保持源源不斷創(chuàng)新能力
創(chuàng)新是一項(xiàng)系統(tǒng)工程，企業(yè)要想在市場(chǎng)上擁有一席之地，必須具有源源不斷的創(chuàng)新能力，并不斷將其創(chuàng)新產(chǎn)品推向市場(chǎng)。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)要想在被國(guó)外企業(yè)一統(tǒng)天下的設(shè)備領(lǐng)域有所作為，不斷創(chuàng)新是明智之舉。
王志越表示，首先，要建立起以分配機(jī)制為主的有效激勵(lì)的創(chuàng)新機(jī)制，貫徹落實(shí)國(guó)家有關(guān)科研成果、知識(shí)產(chǎn)權(quán)等要素全面參與分配精神。其次，要積極培育企業(yè)的創(chuàng)新能力，要著重從企業(yè)決策機(jī)制、資源有效整合、科學(xué)管理、研發(fā)經(jīng)費(fèi)投入等等方面不斷完善和提高，逐步使企業(yè)在基礎(chǔ)環(huán)節(jié)上具備創(chuàng)新與騰飛的本領(lǐng)。第三，“不拘一格降人才”，建立一支強(qiáng)大的創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)。第四，不能把自主創(chuàng)新同引進(jìn)技術(shù)對(duì)立起來(lái)。自主開(kāi)發(fā)并不意味故步自封。沒(méi)有一個(gè)國(guó)家能包攬所有源技術(shù)的開(kāi)發(fā)，必須互相借鑒?，F(xiàn)在，我們國(guó)家大部分行業(yè)在自我測(cè)評(píng)時(shí)都認(rèn)為同發(fā)達(dá)國(guó)家的差距在10年-20年左右。不引進(jìn)技術(shù)，靠自己關(guān)起門來(lái)埋頭苦干是不行的。在大多數(shù)產(chǎn)業(yè)中，我們還必須站在別人的肩膀上前進(jìn)。此外國(guó)產(chǎn)化并不意味著所有的零部件都必須要國(guó)內(nèi)制造。在當(dāng)今經(jīng)濟(jì)全球化的環(huán)境下，關(guān)鍵是擁有核心技術(shù)的知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
秦建國(guó)告訴記者，企業(yè)要保持不斷的創(chuàng)新，首先應(yīng)認(rèn)識(shí)到創(chuàng)新給企業(yè)帶來(lái)的發(fā)展后勁，發(fā)展要依靠開(kāi)拓創(chuàng)新，創(chuàng)新產(chǎn)品要有三個(gè)方面支持：第一要有研發(fā)人員；第二要有資金支持；第三要有市場(chǎng)的需求。沒(méi)有人才就無(wú)法創(chuàng)新，沒(méi)有資金的支持也就談不上創(chuàng)新，市場(chǎng)是創(chuàng)新產(chǎn)品的目的。要使企業(yè)不斷地推出創(chuàng)新產(chǎn)品，就要結(jié)合人才、資金、市場(chǎng)三方面，這樣才能使企業(yè)不斷地發(fā)展壯大，一個(gè)好的創(chuàng)新方式會(huì)使企業(yè)得到很好的回報(bào)。
北京中科信電子裝備有限公司副總經(jīng)理孫勇表示，企業(yè)是創(chuàng)新的主體，企業(yè)只有在不斷的創(chuàng)新中才不會(huì)步入衰退期。這就要求具有適應(yīng)社會(huì)各種變化能力的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，營(yíng)造創(chuàng)新的組織與文化精神。在創(chuàng)新的氛圍下，創(chuàng)新才有動(dòng)力，企業(yè)才有核心競(jìng)爭(zhēng)力，才能立于不敗之地。此外，企業(yè)應(yīng)整合各種社會(huì)資源，不關(guān)起門來(lái)搞創(chuàng)新，必須建立開(kāi)放式的創(chuàng)新平臺(tái)，吸納和整合各種資源，形成一個(gè)創(chuàng)新集群，一切為我所用，提高創(chuàng)新質(zhì)量。
初嘗創(chuàng)新甜果
在不斷創(chuàng)新動(dòng)力的推動(dòng)下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)取得一個(gè)又一個(gè)成果，他們或是從現(xiàn)有設(shè)備出發(fā)，努力開(kāi)拓新應(yīng)用領(lǐng)域；或是面對(duì)全新的技術(shù)及工藝，讓國(guó)產(chǎn)設(shè)備用在國(guó)內(nèi)IC大生產(chǎn)線；或是不斷改進(jìn)產(chǎn)品性能，最終替代進(jìn)口產(chǎn)品。
盛金龍告訴記者，他們?cè)谘兄菩略O(shè)備的同時(shí)，不斷使用新的技術(shù)，運(yùn)用新的知識(shí)，通過(guò)不斷創(chuàng)新，使設(shè)備達(dá)到新的水平。設(shè)備制造的創(chuàng)新，還需要體制創(chuàng)新、意識(shí)創(chuàng)新，設(shè)備制造的體制創(chuàng)新還在于引進(jìn)人才，通過(guò)智力的引入使國(guó)產(chǎn)設(shè)備與國(guó)際設(shè)備行業(yè)融合，通過(guò)這些融合，把國(guó)產(chǎn)設(shè)備提升到新的層次。正是在這種理念的引導(dǎo)下，他們研制成功了PECVD設(shè)備。事實(shí)上，他們研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，以前的PECVD設(shè)備主要應(yīng)用于IC行業(yè)。他們是在以前的研究基礎(chǔ)上對(duì)設(shè)備進(jìn)行較大的改進(jìn)以適應(yīng)于太陽(yáng)能行業(yè)。應(yīng)用于IC行業(yè)的PECVD裝片舟均采用鋁材料制作，其耐溫低、易變形的缺點(diǎn)使其不適用太陽(yáng)能行業(yè)。我們?cè)谧隽舜罅吭囼?yàn)并參考了國(guó)外設(shè)備之后，最終采用了新裝片舟用來(lái)承載硅片。并根據(jù)實(shí)際使用情況不斷改進(jìn)其結(jié)構(gòu)，逐步完善舟的設(shè)計(jì)，使其更加適用于大規(guī)模太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，并不斷提升我國(guó)太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)鏈整體技術(shù)水平。
評(píng)論