賽斯與意法半導(dǎo)體合作開(kāi)發(fā)多軸MEMS陀螺儀

　　SAES®賽斯吸氣劑集團(tuán)與意法半導(dǎo)體簽署了一項(xiàng)以促進(jìn)下一代MEMS陀螺儀的開(kāi)發(fā)制造活動(dòng)為宗旨的技術(shù)合作協(xié)議。賽斯的PageWafer®是最先進(jìn)的使片級(jí)封裝MEMS產(chǎn)品保持高真空的吸氣劑薄膜解決方案，為提高產(chǎn)品的靈敏度和穩(wěn)定性，意法半導(dǎo)體將在該公司的微機(jī)電系統(tǒng)芯片內(nèi)集成這項(xiàng)先進(jìn)技術(shù)。

　　　利用硅獨(dú)特的電氣性質(zhì)和出色的金屬特性，含有MEMS的集成電路正在給半導(dǎo)體行業(yè)帶來(lái)一場(chǎng)巨大變革。雖然硅的電氣特性是半導(dǎo)體行業(yè)四五十年發(fā)展的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，但是挖掘硅的機(jī)械特性相對(duì)來(lái)說(shuō)還是一個(gè)較新的現(xiàn)象，比人的毛發(fā)直徑還小的MEMS陀螺儀是一項(xiàng)尖端技術(shù)。

　　新陀螺儀產(chǎn)品是用于測(cè)量角速度的元器件，它們的問(wèn)世將進(jìn)一步完善ST現(xiàn)有的兩軸和三軸MEMS加速計(jì)，為客戶提供一個(gè)完整的慣性傳感器平臺(tái)。小尺寸，高靈敏度，低功耗，ST的MEMS陀螺儀將為手機(jī)、便攜設(shè)備、MP3/MP4播放器、PDA、游戲和導(dǎo)航設(shè)備等消費(fèi)電子應(yīng)用領(lǐng)域開(kāi)拓新的用途。ST預(yù)計(jì)在2008年前半年開(kāi)始大規(guī)模生產(chǎn)MEMS陀螺儀。

　　陀螺儀市場(chǎng)在很多應(yīng)用領(lǐng)域都呈現(xiàn)高速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。除汽車電子穩(wěn)定系統(tǒng)和GPS接收機(jī)外，行業(yè)分析家認(rèn)為MEMS陀螺儀將會(huì)在消費(fèi)電子市場(chǎng)出現(xiàn)高速增長(zhǎng)，例如，便攜通信設(shè)備的運(yùn)動(dòng)用戶界面以及攝像機(jī)和數(shù)碼相機(jī)的圖像穩(wěn)定器。分析家預(yù)計(jì)今后五年MEMS陀螺儀的總有效市場(chǎng)會(huì)增長(zhǎng)三倍，從2006年的4億美元增長(zhǎng)到2012年12億美元。

　　2006年11月，意法半導(dǎo)體在米蘭Agrate地區(qū)新建成一條最先進(jìn)的200mm (8英寸)半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線專門用于制造MEMS器件。目前還在試產(chǎn)和測(cè)試中的ST第一代陀螺儀將來(lái)和現(xiàn)有的線性加速計(jì)共用這條生產(chǎn)線。

　　除現(xiàn)有的4、5、6英寸生產(chǎn)線外，賽斯最近對(duì)在 Lainate的公司總部的PageWafer 生產(chǎn)線進(jìn)行了設(shè)備升級(jí)，使其可以加工8英寸的晶圓。賽斯的8英寸晶圓生產(chǎn)線于2006年底開(kāi)始全負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，正在為ST的8英寸晶圓生產(chǎn)線提供配套服務(wù)。

　　賽斯吸氣劑集團(tuán)設(shè)計(jì)PageWafer的目的是為保證晶圓對(duì)晶圓氣密焊接的MEMS器件內(nèi)的真空或惰性氣體的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品由一個(gè)晶圓和一層吸氣劑薄膜組成，這層薄膜的厚度只有幾微米，有規(guī)律地放在特定的空穴上面，洞穴的形狀和深度是按客戶的要求定義的。充當(dāng)MEMS封裝的蓋狀晶圓，PageWafer最大限度地吸附所有的活性氣體，像H2O、O2, CO, CO2、N2和H2，從而提高了器件的可靠性和壽命周期。

　　氣壓分布均勻和加工時(shí)間大幅度縮減是在8英寸等大尺寸晶圓內(nèi)集成吸氣劑薄膜技術(shù)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。

　　除供應(yīng)PageWafer技術(shù)外，賽斯吸氣劑集團(tuán)將在氣密封裝設(shè)計(jì)和特性表征以及真空需求定義等方面為ST提供技術(shù)咨詢支持，此外，還提供溢出氣體和剩余氣體分析服務(wù)。

　　“我們特別高興能夠與像ST這樣的MEMS全球市場(chǎng)的重量級(jí)廠商合作，”賽斯吸氣劑集團(tuán)MEMS業(yè)務(wù)拓展經(jīng)理Marco Moraja表示，“消費(fèi)電子應(yīng)用領(lǐng)域中的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器是我們目標(biāo)市場(chǎng)中最具挑戰(zhàn)性的市場(chǎng)之一，被集成到ST的先進(jìn)的MEMS陀螺儀內(nèi)的PageWafer技術(shù)代表了我們所服務(wù)的汽車工業(yè)以外的MEMS應(yīng)用領(lǐng)域的廠商對(duì)我們的吸氣劑薄膜產(chǎn)品的極大認(rèn)可。”

　　“在與像賽斯這樣的行業(yè)領(lǐng)導(dǎo)廠商合作方面，ST擁有悠久而且成功的歷史，”意法半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示，“通過(guò)在ST先進(jìn)的MEMS技術(shù)中整合賽斯的吸氣劑薄膜專業(yè)技術(shù)，我們將確?？蛻裟軌颢@得質(zhì)量最好的陀螺儀產(chǎn)品，這也是我們進(jìn)一步擴(kuò)大高速增長(zhǎng)的MEMS業(yè)務(wù)的重要機(jī)遇。”