安捷倫科技推出整合CV和IV測量功能的半導(dǎo)體器件分析儀

安捷倫科技日前宣布，推出基于Windows?的半導(dǎo)體器件分析儀，把電容對電壓測量(CV)及電流對電壓測量(IV)集成到一臺儀器中，使半導(dǎo)體測試工程師節(jié)約了時間，提高了生產(chǎn)效率。安捷倫B1500A為參數(shù)測試和分析提供了完整的可單機、可擴展解決方案，能夠處理65 納米(nm)及更小光刻工藝技術(shù)。模塊化儀器采用10插槽配置，支持安捷倫新推出的EasyEXPERT軟件，提供了一個完整的器件檢定方法。

對處理當(dāng)前半導(dǎo)體工藝技術(shù)的工程師和科學(xué)家來說，半導(dǎo)體器件檢定是一項復(fù)雜的工作。搭配基于Windows的圖形用戶界面，即使對參數(shù)測量儀器經(jīng)驗不足的新工程師，也可以輕松使用。

"采用EasyEXPERT軟件的安捷倫B1500A把每個用戶變成了參數(shù)測試專家。"安捷倫Hachioji半導(dǎo)體測試分部副總裁兼總經(jīng)理Minoru Ebihara說，"一般半導(dǎo)體測試儀器要求EasyEXPERT知道每種硬件功能，并要求多種設(shè)置才能進(jìn)行測量。B1500A為用戶立即提供了高效的生產(chǎn)能力，使投資回報達(dá)到最大。"

新的EasyEXPERT軟件提供了一個器件應(yīng)用測試程序庫，用戶可以根據(jù)要求的測量類型進(jìn)行選擇。在進(jìn)行幾個簡單的設(shè)置之后，如確認(rèn)工藝類型，及選擇適當(dāng)?shù)钠骷愋?，軟件便會選擇相應(yīng)的設(shè)置，進(jìn)行測量，分析數(shù)據(jù)，以圖形方式顯示分析結(jié)果。通過使用基于Windows的EasyEXPERT軟件，即使是新手也可以在B1500A開機幾分鐘后進(jìn)行高效測量。

當(dāng)檢定同時要求進(jìn)行IV和CV測量時，工程師面臨著額外的挑戰(zhàn)。然而大多數(shù)儀器只是為一種測量設(shè)計的，這意味著必須透過兩個接口連接兩種不同的儀器來進(jìn)行測量。必需把電容測量單元(CMU)的連接線正確連接到被測器件(DUT)上，并精確補償電纜長度，以保證精確的CV測量結(jié)果。此外，CMU采用BNC連接器，而電源測量單元(SMU)采用三軸連接器。在這些不兼容的連接器之間切換可能會非常困難、麻煩，特別是與芯片探針臺上搭配使用時。

安捷倫B1500A提供了高度靈活性，幫助降低測試成本。其10插槽配置支持三種SMU類型：

o 高分辨率SMU (HRSMU)

o 中等功率SMU (MPSMU)

o 高功率SMU (HPSMU)

安捷倫還提供一個多頻率電容測量單元(MFCMU)，B1500A主機內(nèi)建4.2 A接地單元(GNDU)。

除把CV測量集成到器件分析儀主機外，MFCMU比類似的外部電容儀表提供更多的測量功能。它可以以高達(dá)5 MHz的頻率測量電容，提供了正負(fù)25 V的DC偏置。此外，在同一部儀器中把MFCMU和SMU結(jié)合起來，使得這些測量資源能夠更加緊密地結(jié)合在一起。在結(jié)合使用B1500A SMU CMU合一單元(SCUU)時，MFCMU和SMU組合支持正負(fù)100 V的 DC偏置的電容測量。

B1500A SCUU為把兩部SMU和MFCMU連接起來、并在這些不同測量資源之間切換提供了一種方便智能的方式，而不需使用單獨的外部開關(guān)矩陣儀器。B1500A軟件處理所有IV-CV測量切換、補償和返回路徑狀態(tài)。為著手進(jìn)行精確測量，用戶只需選擇IV或CV算法，然后按一個鍵即可。如需更多信息，請訪問網(wǎng)址：www.agilent.com/see/parametric。

量身訂做的測量解決方案幫助測試工程師只要購買所需的功能，來幫助降低測試成本，并且預(yù)留發(fā)展空間應(yīng)付需求變化。由本身具備的低電流、低電壓和補償電容測量功能，安捷倫B1500A可以用于半導(dǎo)體器件和新興材料的各種檢定需求，包括采用納米工藝技術(shù)的器件。

B1500A的自動傳感和開關(guān)單元(ASU)，提供了0.1 fA (100 attoamps)和0.5微伏的分辨率用以量測例如MOSFET Idoff和存儲單元漏電檢定等測量。工程師可以簡便地透過ASU所連接到的高分辨率SMU和CMU時，作高精度IV和補償CV測量之間的切換。

美國價格和供貨情況

安捷倫B1500A半導(dǎo)體器件分析儀現(xiàn)已接受訂貨。基本4-SMU IV測量解決方案起價45,000美元，基本CV-IV測量解決方案起價58,000美元。預(yù)計該產(chǎn)品將在2005年8月發(fā)貨。