明基成功開發(fā)新一代MEMS噴墨單芯片

   明基電通(BenQ)日前發(fā)表新一代應(yīng)用微機(jī)電(MEMS)整合之噴墨單芯片產(chǎn)品，這是該公司自2005年起執(zhí)行工業(yè)局前瞻應(yīng)用主導(dǎo)性新產(chǎn)品計劃的研究成果，隨著新一代產(chǎn)品的開發(fā)完成，明基希望能藉此開拓更多打印機(jī)ODM代工的商業(yè)機(jī)會。     

    明基電通公司前瞻技術(shù)中心微流技術(shù)研發(fā)部副理曾繁中表示，明基最早是從2000年起便開始研發(fā)第一代的噴墨單芯片，到2003年完成第一張六色彩色打印，并于2004年開始量產(chǎn)墨盒組及噴墨打印機(jī)。    


    他指出，第一代產(chǎn)品設(shè)計是采取背噴式架構(gòu)，已應(yīng)用于該公司包括CM3500/3700等型號的多功能事務(wù)機(jī)。但由于此架構(gòu)是在2000年就已定好，規(guī)格已經(jīng)有點老舊，為了進(jìn)一步提升性能與成本競爭力，便于2005年7月通過經(jīng)濟(jì)部工業(yè)局的前瞻應(yīng)用主導(dǎo)性新產(chǎn)品計劃申請，開始進(jìn)行第二代芯片的研發(fā)，希望能提供更精微的墨滴輸出以及高頻率操作頻率。     

    曾繁中表示，不管是第一代還是第二代的產(chǎn)品，該公司一開始研發(fā)噴墨頭芯片時，就采取整合MEMS與MOS驅(qū)動電路技術(shù)的單石化噴墨單芯片架構(gòu)，這與目前市場上有些廠商是采取MEMS、CMOS分別制造，再組裝在一起的方式有所不同。     

    就第一代與第二代的規(guī)格比較，曾繁中說，以墨滴體積來看，從5.5pl縮減到4pl、操作頻率則從18KHz提升到24KHz。此外，由于將四色噴嘴全部設(shè)計在單一芯片上，因此噴嘴數(shù)從432個大幅增加到960個，整個throughput從每秒780萬個墨滴增加到2300萬個，整體效能獲得很大的提升。     

    曾繁中指出，第二代架構(gòu)改良了之前的背噴式設(shè)計，改采先在表面上涂覆犧牲層，再以干蝕刻制程技術(shù)將墨水腔挖出來。     

    此一為期21個月的計劃工業(yè)局共補(bǔ)助了2000萬元的經(jīng)費(fèi)，但明基所投入的資金為5800萬元。除了產(chǎn)品的開發(fā)完成，希望能帶來新的商業(yè)機(jī)會外，在研究成果方面，明基共發(fā)表了國內(nèi)外8篇論文，以及申請了22個國內(nèi)專利。     

    曾繁中指出，目前明基并不計劃以此噴頭進(jìn)行自有品牌的打印機(jī)產(chǎn)品開發(fā)，而是先以O(shè)DM代工業(yè)務(wù)為主。他表示，從2002年起，該公司的第一代噴頭就已經(jīng)為品牌業(yè)者代工了約15個機(jī)種，出貨量已達(dá)到1000萬臺。新的噴墨頭開發(fā)完成后，目前已經(jīng)開始與日系業(yè)者進(jìn)行代工業(yè)務(wù)的洽談。     

    談到國內(nèi)的微機(jī)電產(chǎn)業(yè)，曾繁中也表示，其實國內(nèi)的MEMS產(chǎn)業(yè)的規(guī)模與能力都相對弱勢。目前其噴墨頭芯片是委由亞太優(yōu)勢(APM)制造，他也期望能夠透過這樣的分工與合作模式，共同提升國內(nèi)微機(jī)電產(chǎn)業(yè)的競爭力。     

    針對近來MEMS應(yīng)用在消費(fèi)性市場的趨勢，曾繁中也指出，目前明基的微流技術(shù)研發(fā)部門大約有20人，除了噴墨頭的技術(shù)開發(fā)之外，也將開始著手研究有關(guān)MEMS加速度計的開發(fā)。