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          諾發(fā)推出市場(chǎng)認(rèn)可最快的GAMMA Express 系統(tǒng)

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          作者: 時(shí)間:2007-08-03 來源:EEPW 收藏
               有限公司日前宣布其在2006年美國(guó)西部半導(dǎo)體設(shè)備展覽會(huì)(SEMICON West)上推出的;正在成為該公司歷史上市場(chǎng)認(rèn)可速度最快的產(chǎn)品之一。自 2007 年初以來,公司已接到針對(duì)多款GAMMA Express的續(xù)訂訂單,這些系統(tǒng)在亞洲已被領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商應(yīng)用于高級(jí)研發(fā)與生產(chǎn)過程中。GAMMA平臺(tái)采用多站式順序處理(MSSP)技術(shù),可用于領(lǐng)先存儲(chǔ)器、邏輯器件以及全球代工廠設(shè)備的生產(chǎn)制造,目前每個(gè)月可處理逾一百萬(wàn)片晶圓。公司已為客戶安裝了250多套系統(tǒng),在針對(duì)高產(chǎn)能制造的300mm光刻膠去除領(lǐng)域中占據(jù)市場(chǎng)領(lǐng)先地位。 
           
              隨著半導(dǎo)體行業(yè)向高級(jí)技術(shù)節(jié)點(diǎn)過渡,光刻膠去除已成為日益重要的工藝步驟。在高劑量離子注入光刻膠去除(HDIS)的過程中,保持較低的硅氧損失量對(duì)提高晶體管性能至關(guān)重要。GAMMA Express平臺(tái)不僅適用于前道(FEOL)和后道(BEOL)應(yīng)用,同時(shí)還為大容量、高劑量離子注入光刻膠去除提供了最高水平的技術(shù)、可靠性和生產(chǎn)力。因而,該平臺(tái)的擁有成本較低,實(shí)現(xiàn)了對(duì)制造可變性的緊密控制,正常工作時(shí)間超過95%。 
           
              “隨著客戶日益認(rèn)識(shí)到針對(duì)高級(jí)工藝節(jié)點(diǎn)的高效率光刻膠去除技術(shù)的優(yōu)勢(shì),GAMMA Express正受到廣泛的市場(chǎng)關(guān)注?!?a class="contentlabel" href="http://www.ex-cimer.com/news/listbylabel/label/諾發(fā)">諾發(fā)公司副總裁兼表面整合技術(shù)部總經(jīng)理Kevin Jennings先生表示,“在諾發(fā)公司全球服務(wù)基礎(chǔ)設(shè)施的全面支持下,GAMMA平臺(tái)憑借其高可靠性、高生產(chǎn)力以及技術(shù)上可達(dá)32nm的高度可延伸性,不斷贏得客戶青睞?!?


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