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          成長中的新技術(shù)之一:MEMS(微電子機械系統(tǒng))

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          作者: 時間:2008-01-10 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

            MEMS技術(shù)的發(fā)展是利用微細加工和半導(dǎo)體制造工藝,從制造傳感器(敏感元件)開始,一步步走向集成模塊與子系統(tǒng)。MEMS制造商也采取了類似的產(chǎn)業(yè)化戰(zhàn)略:用傳感器(敏感元件)作為起點,打開市場,取代現(xiàn)有產(chǎn)品;進而以完整的功能設(shè)計,利用現(xiàn)有的生產(chǎn)制造基礎(chǔ)設(shè)施,以代工方式或合約制造方式,在硅片上加工,制作集成MEMS 部件(系統(tǒng))和專用集成電路。例如:硅傳聲器已從單純的聲音敏感元件發(fā)展到對聲音進行處理的聲學;SiTime 公司基于MEMS 技術(shù)的振蕩器件已替代了傳統(tǒng)的石英振蕩器及相關(guān)的集成電路模塊;Bosch,Honeywell 等公司的IMU(慣性測量單元)已在許多領(lǐng)域替代了傳統(tǒng)的加速度儀與陀螺儀

              總之,MEMS 技術(shù)與產(chǎn)業(yè)的發(fā)展趨勢和目標是以MEMS 模塊化產(chǎn)品替代非硅基器件(或系統(tǒng)),如石英器件,電容傳聲器,手機中的軟件和光學自動聚焦、變焦鏡頭,運動檢測器件等,這種模塊化(子系統(tǒng))的方式正對每一個預(yù)想要達到的功能產(chǎn)生極其重大的影響。
              
            根據(jù)YOLE Developpement reports 的報告“Global MEMS/Microsystems Market and Opportunities”,2005-2010 年全球MEMS 市場的發(fā)展如表1所示。預(yù)計到2015年MEMS 市場可達到180億美元,整個市場的70%將掌握在半導(dǎo)體制造廠商手中,IC制造廠商會利用自身的優(yōu)勢更快更深地涉足MEMS 的研發(fā)與制造,其對設(shè)備的需求也會不斷增長。
             
            2005-2010年全球MEMS設(shè)備市場的發(fā)展如表2所示。
             
            其中,深刻蝕(DRIE)設(shè)備市場的強勁增長是因為在許多MEMS 領(lǐng)域(如加速度儀、陀螺儀、MOEMS、噴墨頭、Si 傳聲器或射頻MEMS 等),深度刻蝕工藝技術(shù)有著不可替代的重要作用。當然,其他刻蝕工藝技術(shù)(如干法HF、XeF2 等)應(yīng)用的推進也很迅猛。
              
            由于采用了硅片級的封裝方法,器件的一級封裝越來越普遍,所以與此相應(yīng)的硅片鍵合工藝設(shè)備也有二位數(shù)的年增長率。

            SiTime,Akustica 及Micralyne 三公司在講座上分別介紹了公司的產(chǎn)品和有關(guān)技術(shù),有興趣的可查閱其網(wǎng)站。
          表1  2005-2010 年全球MEMS 市場的發(fā)展(百萬美元)
           
          表2  2005-2010 年全球MEMS設(shè)備市場的發(fā)展(百萬美元)
           
           



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