汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展
摘要:本文通過大量的文獻(xiàn)資料,評述汽車MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢,其中重點(diǎn)介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu),同時(shí)對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/78490.htm關(guān)鍵詞:汽車傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、力敏器件。
一、引言
MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技,其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面,目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢,可以測量各種物理量、化學(xué)量及生物量。在市場引導(dǎo)、科技推動、風(fēng)險(xiǎn)投資、政府介入等多重作用下,汽車MEMS傳感器發(fā)展迅速,現(xiàn)已成為相關(guān)部門爭先投資開發(fā)的熱點(diǎn)。在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器,技術(shù)上日趨成熟完善,可滿足汽車環(huán)境苛刻、可靠性高、精度準(zhǔn)確、成本低的要求,極大地推動了電子技術(shù)在汽車上的應(yīng)用。
二、壓力傳感器
汽車電子控制系統(tǒng)一直被認(rèn)為是MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,可用于測量進(jìn)氣歧管壓、大氣壓、油壓、輪胎氣壓等,表1示出一些主要用途。
最流行的汽車MEMS壓力傳感器采用壓阻式力敏原理,這是現(xiàn)有幾種力敏傳感器中用量最大的一種,開發(fā)出幾代產(chǎn)品,年產(chǎn)量為數(shù)千萬只。這種傳感器用單晶硅作材料,以MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成4只應(yīng)變電阻,再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路,來獲得高靈敏度,其輸出大多為0~5V模擬量,測量范圍取決于力敏膜片的厚度,一枚晶片上可同時(shí)制作許多個力敏芯片,易于批量生產(chǎn),力敏芯片受溫度影響性能采用調(diào)理電路補(bǔ)償。
汽車用壓力傳感器被稱為是軍品的質(zhì)量、民品的價(jià)格。其環(huán)境實(shí)驗(yàn)要求是極為嚴(yán)格的(表2)。封裝好的傳感器通過嚴(yán)格的環(huán)境測試后,一般能保證0.1%~0.3%F.S.的穩(wěn)定性,即使經(jīng)受最嚴(yán)格的長時(shí)間測試,仍能維持1%F.S.的穩(wěn)定性。信號調(diào)理電路和標(biāo)定及封裝也是生產(chǎn)中的極其關(guān)鍵技術(shù),科技含量超過力敏芯片的制作。例如,測量燃油噴射的壓力傳感器長期與液態(tài)燃料接觸,并承受高壓,組裝固定和安裝尺寸的設(shè)計(jì),涉及到大量的結(jié)構(gòu)分析、機(jī)械應(yīng)力測試、介質(zhì)暴露測試、電路修正等技術(shù)。
目前,可以提供汽車MEMS壓力傳感器的有美國凱樂爾、特種測量、SSI、菲爾科、德州儀器、德國博世、日本電裝等公司,一般年產(chǎn)量在100萬只以上,這是汽車量產(chǎn)的需求,也是回收巨額投資的條件。部分廠家已研制成功力敏芯片與外圍信號處理電路集成化的汽車MEMS壓力傳感器,估計(jì)今后的價(jià)格會降至5~7美元。博世公司采用表面MEMS技術(shù),研制出微型化的硅質(zhì)量流量傳感器,很多汽車廠家正對這種新型傳感器進(jìn)行評估。
汽車電控燃油噴射系統(tǒng)EFI要使用多重壓力MAP傳感器,監(jiān)測發(fā)動機(jī)進(jìn)氣歧絕對壓力,提高其動力性能,降低油耗,減少廢氣排放。微型硅壓阻式MEMS壓力傳感器可用于發(fā)動機(jī)廢氣循環(huán)系統(tǒng),替代陶瓷電容式壓力傳感器,汽車空調(diào)壓縮機(jī)中的壓力測量也是MEMS的一個很大市場。除現(xiàn)有的各種應(yīng)用外,另一個極具市場前景的是輪胎氣壓自動監(jiān)測系統(tǒng),MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片,自動測量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù),并用特定的代碼發(fā)送出來。目前,已有不少實(shí)時(shí)胎壓監(jiān)測系統(tǒng)問世,使輪胎始終保持良好的應(yīng)用性能,可提高安全系數(shù),縮短制動距離5~10%,并能降低油耗10%左右。最近,隨著燧石爭論(Firestone Controversy)的復(fù)蘇,美國國會通過一項(xiàng)法案,要求到2004年每一輛汽車都要裝用車胎壓力監(jiān)測系統(tǒng),政府的介入為MEMS傳感器開啟了更廣闊的市場,許多廠家正為此展開角逐。
三、微加速度計(jì)
微加速度計(jì)通常由一個平行的懸臂梁構(gòu)成,梁的一端固定在邊框架上,另一端懸掛一個小質(zhì)量物體塊(約10mg),無加速度時(shí)質(zhì)量塊不運(yùn)動,而當(dāng)有垂直方向加速度時(shí),質(zhì)量塊運(yùn)動,對加速度敏感,并轉(zhuǎn)換為電信號,經(jīng)C/V轉(zhuǎn)變、放大相敏解調(diào)輸出。
按檢測方式,微加速度計(jì)有壓阻式、電容式、隧道式、共振式、熱形式等幾種。其中,電容式微加速度計(jì)質(zhì)量塊在有加速度時(shí)向下運(yùn)動,與邊框上的另一個電極的距離發(fā)生變化,通過檢測電容的變化可獲得質(zhì)量塊運(yùn)動的位移,主要結(jié)構(gòu)分為懸臂擺片式和梳齒狀的折疊梁式,并變異成其它類型。前者結(jié)構(gòu)相對簡單些,制作上也多采用體硅加工方法,簡單的擺片式結(jié)構(gòu)由上、下固定電極和可動敏感硅懸臂梁電極組成,用半導(dǎo)體平面工藝各向異性腐蝕,靜電封接技術(shù)封裝完成制作。后者可看作是懸臂梁的并、串組合,設(shè)計(jì)上要復(fù)雜得多,微加工方法則以表面犧牲層技術(shù)為主,多晶硅材料的各向同性性質(zhì)可保證微機(jī)械性能的對稱性,批量加工精度高,采用這種結(jié)構(gòu)的敏感部分尺寸做得很小,實(shí)現(xiàn)與外圍電路的單片集成。電容式微加速度計(jì)的靈敏度高、噪音低、漂移小、結(jié)構(gòu)簡單,在汽車安全氣囊系統(tǒng)和防滑系統(tǒng)獲得廣泛應(yīng)用,其檢測范圍與準(zhǔn)確度的性能指標(biāo)分別為50g(重力加速度),200°/s、500mg、10°/s、100°/s、1°/s,安全氣囊系統(tǒng)檢測碰撞的微加速度計(jì)的檢測范圍為±30~50g,精度100mg,檢測側(cè)面碰撞大約為250g或500g,防滑穩(wěn)定系統(tǒng)的測量范圍±2g,精度10mg。
微加速度計(jì)商業(yè)化最重要的驅(qū)動力來自汽車工業(yè),最成功的是美國模擬器件公司的ADXL05和ADXL50系列單片集成差動電容式加速度計(jì),現(xiàn)月產(chǎn)量達(dá)到200萬只。美國摩托羅拉公司批量生產(chǎn)汽車用MMAS40G電容式加速度計(jì),選擇雙芯片設(shè)計(jì)制作技術(shù),封裝為雙列直插式或單列直插式塑封,加速度測量范圍±40g。美國EG&G IC傳感器公司建立了MEMS加工生產(chǎn)線,先后開發(fā)成功3255、3000系列壓阻式加速度計(jì),3255型主要用于汽車安全系統(tǒng),敏感芯片與信號自理芯片封裝在表面貼裝的外殼內(nèi)。德國博世、日本電裝公司也有類似產(chǎn)品。微加速度計(jì)正替代以往的機(jī)電式加速度傳感器,并伴隨著汽車安全氣囊系統(tǒng)日趨普及而高速增長。
四、微機(jī)械陀螺
微機(jī)械陀螺是一種振動式角速率傳感器,在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)倍受關(guān)注,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng),應(yīng)用潛力極大。
微機(jī)械陀螺中有兩個振動模式,一個是橫向振動模式,即驅(qū)動振動模式,通常稱為參考振動,在科氏力作用下會產(chǎn)生附加運(yùn)動;另一個是法向振動模式,即敏感振動模式,對反映科氏力的附加運(yùn)動的檢測,獲得包含在科氏力中的角速率信息。
按所用材料,微機(jī)械陀螺分為石英和硅振動梁兩類,石英材料結(jié)構(gòu)的品質(zhì)因數(shù)Q值最高,陀螺特性最好,有實(shí)用價(jià)值,是最早產(chǎn)品化的,美國德爾科、BEI公司采用MEMS技術(shù),批量生產(chǎn)單軸、三軸固態(tài)石英壓電陀螺,可用于高檔汽車、導(dǎo)航、飛機(jī)、航天等市場上。德國博世、日本松下的汽車用角速率傳感器的單只售價(jià)25美元。
石英加工難度大,成本很高,無法滿足汽車的低成本要求。硅材料結(jié)構(gòu)完整,彈性好,比較容易得到高Q值的微機(jī)械結(jié)構(gòu),隨著深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)的出現(xiàn),體硅微機(jī)械加工技術(shù)的加工精度顯著提高,在硅襯底上用多晶硅制作適宜批量生產(chǎn),驅(qū)動和檢測較為方便,成為當(dāng)前低成本研發(fā)的主流。從硅微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)上,常采用振梁結(jié)構(gòu)、雙框架結(jié)構(gòu)、平面對稱結(jié)構(gòu)、橫向音叉結(jié)構(gòu)、梳狀音叉結(jié)構(gòu)、梁島結(jié)構(gòu)等,用來產(chǎn)生參考振動的驅(qū)動方式有靜電驅(qū)動、壓電驅(qū)動和電磁驅(qū)動等,而檢測由于科氏力帶來的附加振動的檢測方式有電容檢測、壓電檢測、壓阻檢測。靜電驅(qū)動、電容檢測的陀螺設(shè)計(jì)最為常見,已有部分產(chǎn)品研制成功。
現(xiàn)有的硅微機(jī)械陀螺產(chǎn)品的性能不高,精度一般在0.1°/s的水平,只能滿足汽車應(yīng)用要求,但要獲得大量應(yīng)用,還需解決測量電路和封裝穩(wěn)定性、可靠性、價(jià)格等諸多問題。
五、MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)化
全球汽車電子化及汽車計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的興起,推動了汽車MEMS傳感器的發(fā)展。在汽車上所有系統(tǒng)中,幾乎都能找到MEMS的用武之地,車越好,所用的MEMS就越多。BMW740i汽車上就有70多只MEMS,德國海拉集團(tuán)在歐洲售后市場提供250種汽車傳感器,很多傳感器可用MEMS替代。據(jù)報(bào)道,2000年汽車MEMS傳感器的銷售額為12.6億美元,預(yù)計(jì)2004年將增長到23.5億美元,有人預(yù)測其市場增長更大,總之,在今后的汽車傳感器中會進(jìn)一步占有更大的份額。
MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià),特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用,博世公司以產(chǎn)品系列完整性而引以為榮,汽車MEMS傳感器超過35種型號。風(fēng)險(xiǎn)投資家依然青睞MEMS,被視為新興工業(yè),2001年1季度對MEMS公司投資5.1億美元,一些新建MEMS工廠即將投入生產(chǎn),另一些半導(dǎo)體廠家也將相繼加盟,美國已成立MEMS工業(yè)組織,將會進(jìn)一步推動其發(fā)展。
汽車MEMS傳感器所用材料從單晶硅、多晶硅、石英晶體向其它新型材料發(fā)展,例如,采用巨磁電阻材料研制用量很大的制動防抱死系統(tǒng)的輪速傳感器,以期替代現(xiàn)在使用的變磁阻式傳感器。生產(chǎn)工藝上開發(fā)出非硅基加工的微電火花加工、微電鑄、激光加工、表面貼裝等技術(shù),硅基加工技術(shù)也有多種發(fā)展。
在國內(nèi),MEMS傳感器的基礎(chǔ)性科研開發(fā)取得顯著成果,但尚未具備大批量生產(chǎn)的能力,與國際上的產(chǎn)業(yè)化存在相當(dāng)差距。國產(chǎn)汽車在2010年將達(dá)到600萬輛的生產(chǎn)能力,所需用的傳感器多達(dá)百余種,發(fā)展前景誘人。從市場需求出發(fā),結(jié)合多種力量,促進(jìn)汽車MEMS傳感器的產(chǎn)業(yè)化將是MEMS的一個重要方向,也是其科技轉(zhuǎn)化生產(chǎn)力的市場平臺。
風(fēng)速傳感器相關(guān)文章:風(fēng)速傳感器原理 電容傳感器相關(guān)文章:電容傳感器原理
評論