高性能納伏表消除偏移、漂移和噪聲
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作者：
時(shí)間：2005-09-05
來源：EDN電子設(shè)計(jì)技術(shù)
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高性能納伏表消除偏移、漂移和噪聲
可靠測(cè)量數(shù)十億分之幾伏電壓，這對(duì)于生產(chǎn)高質(zhì)量的尖端半導(dǎo)體器件是至關(guān)重要的。不過，獲得可重復(fù)的可信結(jié)果一直是個(gè)大難題。您想測(cè)量的數(shù)量通常是偏移電壓的一小部分，而簡(jiǎn)單地倒換測(cè)試引腳和取測(cè)量結(jié)果的平均值通常都不管用。偏移保持恒定的時(shí)間太短，而且偏移不斷變化和漂移。
Keithley 公司用2182A 納伏表nanovoltmeter解決了這個(gè)問題（見圖片）。事實(shí)上，該儀器不僅能自動(dòng)進(jìn)行引線倒換，而且還能跟蹤偏移電壓的變化，并減掉恰當(dāng)?shù)臄?shù)量。根據(jù) Keithley 公司的說法，所得結(jié)果就是您試圖測(cè)量的數(shù)量，與其它現(xiàn)貨供應(yīng)的儀器或定制的裝置可能得到的結(jié)果相比，該結(jié)果無(wú)錯(cuò)誤的程度更大。
該公司同時(shí)宣布推出它所聲稱的第一種高精度直流/交流電流源，即6221型，以及一種沒有交流電流源功能的配套儀器，即6220型。Keithley 公司設(shè)計(jì)2182A型儀器，為的是使之與 6220型或6221型串接在一起，構(gòu)成容易組裝的裝置，用來更好地以增量方式或脈沖方式測(cè)量電阻值（尤其是低電阻值），測(cè)量差分電導(dǎo)，并為繪制半導(dǎo)體材料和器件的I-V 特性曲線采集數(shù)據(jù)。
對(duì)于半導(dǎo)體制造商來說，由于2182A納伏表能夠測(cè)量十億分之一伏的微小電壓，因此能夠解決很多令人頭疼的問題。
6221型不僅供應(yīng)100fA ～100mA的直流電流和頻率為100kHz ～1MHz的、1pA ～ 100mA 的交流電流，而且還包括標(biāo)準(zhǔn)波形發(fā)生器、任意波形發(fā)生器、IEEE-488 接口和以太網(wǎng)接口，并能仿真 Keithley 公司較早的 220型 直流電流源。Keithley公司規(guī)定6221型的RMS 電流噪聲為80fA。6220型 與6221型大同小異，只有直流電流源功能，而無(wú)以太網(wǎng)功能。該公司提供適用于Windows PC 和 Macintosh 電腦的儀器控制軟件。2182A、6220 和 6221 售價(jià)分別是 2803 美元、2995 美元和 3995 美元。
Keithley 公司用2182A 納伏表nanovoltmeter解決了這個(gè)問題（見圖片）。事實(shí)上，該儀器不僅能自動(dòng)進(jìn)行引線倒換，而且還能跟蹤偏移電壓的變化，并減掉恰當(dāng)?shù)臄?shù)量。根據(jù) Keithley 公司的說法，所得結(jié)果就是您試圖測(cè)量的數(shù)量，與其它現(xiàn)貨供應(yīng)的儀器或定制的裝置可能得到的結(jié)果相比，該結(jié)果無(wú)錯(cuò)誤的程度更大。
該公司同時(shí)宣布推出它所聲稱的第一種高精度直流/交流電流源，即6221型，以及一種沒有交流電流源功能的配套儀器，即6220型。Keithley 公司設(shè)計(jì)2182A型儀器，為的是使之與 6220型或6221型串接在一起，構(gòu)成容易組裝的裝置，用來更好地以增量方式或脈沖方式測(cè)量電阻值（尤其是低電阻值），測(cè)量差分電導(dǎo)，并為繪制半導(dǎo)體材料和器件的I-V 特性曲線采集數(shù)據(jù)。
對(duì)于半導(dǎo)體制造商來說，由于2182A納伏表能夠測(cè)量十億分之一伏的微小電壓，因此能夠解決很多令人頭疼的問題。
6221型不僅供應(yīng)100fA ～100mA的直流電流和頻率為100kHz ～1MHz的、1pA ～ 100mA 的交流電流，而且還包括標(biāo)準(zhǔn)波形發(fā)生器、任意波形發(fā)生器、IEEE-488 接口和以太網(wǎng)接口，并能仿真 Keithley 公司較早的 220型 直流電流源。Keithley公司規(guī)定6221型的RMS 電流噪聲為80fA。6220型 與6221型大同小異，只有直流電流源功能，而無(wú)以太網(wǎng)功能。該公司提供適用于Windows PC 和 Macintosh 電腦的儀器控制軟件。2182A、6220 和 6221 售價(jià)分別是 2803 美元、2995 美元和 3995 美元。
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