柔性有機(jī)TFT陣列應(yīng)用于有源矩陣型電子紙

　　日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所與日本化學(xué)技術(shù)戰(zhàn)略推進(jìn)機(jī)構(gòu)聯(lián)手，利用印刷技術(shù)開發(fā)出了柔性有機(jī)TFT陣列。印刷技術(shù)采用的是基于嵌入有微細(xì)圖案的“微接觸印刷法（Micro-contact Printing Method）”。使用這一方法，可實(shí)現(xiàn)在塑料底板上制作柵極、柵極絕緣膜、有機(jī)半導(dǎo)體膜、源極/漏極等制作有機(jī)TFT所需全部工序。

　　塑料底板的尺寸為6英寸見方，可以在整個底板上基本均勻地形成最小為0.8μm的圖案。“在利用印刷技術(shù)制成的所有有機(jī)TFT陣列中，以這樣的底板尺寸來制造微細(xì)圖案尚屬全球首次”（產(chǎn)綜研光技術(shù)研究部門副研究部長八瀨清志）。像素間距為127μm，像素的開口率為約70％。由于采用的是微細(xì)圖案，因此可以減小TFT的尺寸，實(shí)現(xiàn)高開口率。設(shè)想用于有源矩陣型電子紙，計劃2010年試制出A4尺寸的有源矩陣型電子紙，2015年投產(chǎn)。

　　為實(shí)現(xiàn)200ppi的分辨率，采用了微接觸印刷法

　　產(chǎn)綜研表示，考慮到用有源矩陣型電子紙來實(shí)現(xiàn)印刷在紙上的文字及圖形等，分辨率需要達(dá)到200ppi左右。因此，此次試制的有機(jī)TFT陣列的像素間距設(shè)定為1英寸（2.54cm）的1/200，即127μm。此次雖未與電子紙使用的顯示元件組合使用，但試制成功的有機(jī)TFT的整體動作良好。有機(jī)TFT的開關(guān)比（導(dǎo)通狀態(tài)與截止?fàn)顟B(tài)的源極－漏極間電流的比）為103。在柔性底板上試制的有機(jī)TFT總數(shù)為100萬個左右。

　　采用微接觸印刷法主要是為了提高有機(jī)TFT的驅(qū)動能力。此次，可通過印刷涂布的有機(jī)半導(dǎo)體材料為聚3-己基噻吩[poly(3-hexylthiophene)，P3HT]，載流子遷移率只有10-3。為了驅(qū)動與有機(jī)TFT組合使用的電子紙顯示元件，必須將有機(jī)TFT的源極－漏極間距（溝道長度）降至5μm以下，因此采用了有利于印刷微細(xì)圖案的微接觸印刷法。使用該方法形成了溝道長度為2μm左右的TFT。

　　層疊涂布5層圖案形成有機(jī)TFT

　　微接觸印刷法是在嵌入硅橡膠模型中的圖案上灑上墨水，然后像“蓋章”那樣，在底板表面涂布圖案。此次的有機(jī)TFT是按照源極、柵絕緣膜、有機(jī)半導(dǎo)體膜、源極/漏極及保護(hù)膜的順序?qū)盈B涂布五層樣式不同的圖案而形成的。印刷一次即可在整個底板上形成圖案。有機(jī)TFT的結(jié)構(gòu)采用的是在有機(jī)半導(dǎo)體層上配置源極和漏極的面接觸型。各層的厚度為200nm左右，對應(yīng)總線的布線部分，為了降低電阻值，將厚度增加到了600nm左右。另外，在電極印刷中，采用的是散布有納米尺寸Ag微粒子的Ag墨水。

　　此次成果將在2008年7月13～17日于波蘭舉行的“The 11th International Conference on Electrical and Related Properties of Organic Solids”上發(fā)表。研究開發(fā)是按照新能源與產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合開發(fā)機(jī)構(gòu)的委托業(yè)務(wù)“超柔性顯示器構(gòu)件技術(shù)開發(fā)計劃”進(jìn)行的。