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          SEMI發(fā)布五項新技術(shù)標準――包含光伏硅材料檢測方法
          
						
          
				作者：
				時間：2009-02-19
				來源：SEMI
				
				
				
				
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			        SEMI日前發(fā)布了五項新技術(shù)標準，涉及半導(dǎo)體、MEMS以及光伏制造產(chǎn)業(yè)，由設(shè)備及材料供應(yīng)商、SEMI國際標準項目小組等的技術(shù)專家共同制定而成。

                  此次新標準包含了對于光伏硅原料的檢測方法。SEMI國際標準總監(jiān)James Amano,表示，“隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，SEMI已就光伏產(chǎn)業(yè)創(chuàng)建了一套標準體系。相信新標準的建立對于設(shè)備及工藝領(lǐng)域?qū)⒂兴Ｕ稀?rdquo;
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/91371.htm

                  五項標準分別是：
          

                  SEMI E151
          
        Guide for Understanding Data Quality
          
        
          
        SEMI F107
          
        Guide for Process Equipment Adaptor Plates
          
        
          
        SEMI M75
          
        Specifications for Polished Monocrystalline Gallium Antimonide Wafers
          
        
          
        SEMI MS8
          
        Guide to Evaluating Hermeticity of MEMS Packages
          

                  SEMI PV1
          
        Test Method for Measuring Trace Elements in Photovoltaic-Grade Silicon by High-Mass Resolution Glow Discharge Mass Spectrometry
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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          關(guān)鍵詞：
            			            光伏硅
                        半導(dǎo)體
                        MEMS
                        光伏
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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