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NanoPhotonics向ISMI出貨450mm晶圓檢測(cè)設(shè)備

作者：時(shí)間：2009-02-20 來源：SEMI

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據(jù)Semiconductor International網(wǎng)站報(bào)道，NanoPhotonics與ISMI簽訂合約，將向ISMI出貨兩臺(tái)用于450mm晶圓的缺陷檢測(cè)設(shè)備。

這兩臺(tái)設(shè)備分別是Reflex MC 450和BevelCam MC 450，兩臺(tái)設(shè)備將和450mm設(shè)備前端模塊一同集成于ISMI 450mm協(xié)同測(cè)試試驗(yàn)臺(tái)。

本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/91436.htm

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關(guān)鍵詞： NanoPhotonics ISMI 晶圓

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