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          Bosch選擇Lam Research的刻蝕系統(tǒng)用于MEMS制造
          
						
          
				作者：
				時間：2009-03-10
				來源：SEMI 
				
				
				
				
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                  全球領(lǐng)先的半導體晶圓制造設備供應商Lam Research近日宣布Robert Bosch GmbH選擇了其TCP 9400DsiE深硅刻蝕系統(tǒng)。Bosch是全球領(lǐng)先的MEMS傳感器制造商，特別專注于汽車傳感和消費電子市場。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/92240.htm          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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