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	 > 業(yè)界動(dòng)態(tài) > IBM集團(tuán)推出28nm工藝技術(shù) 采用高k金屬柵
          
    
          

          

          


	
	
	

          
	
          
		
          
			
          IBM集團(tuán)推出28nm工藝技術(shù) 采用高k金屬柵
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2009-04-20
				來(lái)源：朝聞天下
				
				
				
				
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          　　盡管IC市場(chǎng)低迷，但硅代工市場(chǎng)正在回暖，IBM的“晶圓廠俱樂(lè)部(fab club)”近日正式推出基于高k金屬柵的28nm工藝。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/93582.htm

          　　該28nm技術(shù)正在認(rèn)證中，是由IBM合作平臺(tái)的成員聯(lián)合開(kāi)發(fā)，包括IBM、特許、GlobalFoundries、英飛凌、三星和意法。
          

          　　據(jù)悉，倍受期待的28nm工藝可從現(xiàn)有的32nm工藝無(wú)縫轉(zhuǎn)移。該集團(tuán)的32nm技術(shù)在去年發(fā)布，基于面向低功耗等應(yīng)用的“柵優(yōu)先(gate-first)”高k和金屬柵技術(shù)。
          

          　　該集團(tuán)的32nm和28nm技術(shù)有相似之處，28nm是32nm的微縮版。率先出爐的均為低功耗技術(shù)，支持7-9層金屬、30nm柵長(zhǎng)、銅互連、超低k介質(zhì)。光刻技術(shù)采用193nm沉浸技術(shù)。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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            			            IBM
                        金屬柵
                        高k
                        IC
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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