吉時(shí)利第三代晶圓射頻測(cè)量功能產(chǎn)品

吉時(shí)利儀器公司（Keithley）發(fā)布了用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的第三代晶圓射頻 (RF) 測(cè)量能力的產(chǎn)品。該射頻參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)的RF選件解決方案（選配件），能提供連續(xù)、自動(dòng)、實(shí)時(shí)的測(cè)試和質(zhì)量監(jiān)控，操作方便，可獲得最高通過率的信息吞吐量，測(cè)量質(zhì)量高，且成本較低。 此外，該射頻參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)在全球范圍內(nèi)，是目前唯一獲得驗(yàn)證的半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)量系統(tǒng)，適合200mm和300mm晶圓廠進(jìn)行應(yīng)用參數(shù)工藝控制，以及高性能邏輯電路生產(chǎn)和高性能模擬集成電路生產(chǎn)。

吉時(shí)利公司的RF選件包括S680型SimulTest選件、自動(dòng)探針板卡（可更換）及測(cè)試結(jié)構(gòu)，可在探針touchdown中及相同的探針觸地范圍內(nèi)進(jìn)行同步直流和射頻測(cè)量。這一點(diǎn)可以從S680型參數(shù)測(cè)試結(jié)果得到證實(shí)，吉時(shí)利公司的RF選件具有DC-RF同步的直接駐泊（direct-dock）功能，其運(yùn)行頻率為40GHz。

Keithley公司