ITO靶材向大尺寸高密度方向發(fā)展

　　ITO靶材是LCD產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，是基本的配套材料。近年來隨著平面顯示器行業(yè)的蓬勃發(fā)展，對ITO靶材的需求也大大增長。

　　ITO靶材供應(yīng)以日本為主

　　ITO材料是一種n型半導(dǎo)體材料，該種材料包括ITO粉末、靶材、導(dǎo)電漿料及ITO透明導(dǎo)電薄膜。其主要應(yīng)用分為：平板顯示器(FPD)產(chǎn)業(yè)，如液晶顯示器(LCD)、薄膜晶體管顯示器(TFT-LCD)、電激發(fā)光顯示器(EL)、場發(fā)射顯示器(FED)、電致有機發(fā)光平面顯示器(OELD)、等離子顯示器(PDP)等;光伏產(chǎn)業(yè)，如薄膜太陽能電池;功能性玻璃，如紅外線反射玻璃、抗紫外線玻璃如幕墻玻璃、飛機、汽車上的防霧擋風(fēng)玻璃、光罩和玻璃型磁盤等三大領(lǐng)域。

　　2008年全球ITO靶材年需求量1500噸左右，價格1000美元/公斤左右，市場總量15億美元左右。

　　目前國內(nèi)ITO靶材需求量約150噸。隨著中國經(jīng)濟(jì)的發(fā)展和全球產(chǎn)業(yè)分工的深化，日本、我國臺灣地區(qū)、韓國的許多平板顯示器制造企業(yè)都將他們的制造基地移到中國大陸，未來中國大陸將成為全球最大的液晶顯示器制造中心。預(yù)計2010國內(nèi)ITO靶材需求量將超過500噸。

　　ITO靶材的供應(yīng)，主要的供應(yīng)商以日本為主，其中日本能源、日本三井礦業(yè)公司、日本東曹3家廠商囊括了80%以上的ITO市場。

　　國內(nèi)主要生產(chǎn)廠家有山東威海藍(lán)狐特種材料開發(fā)有限公司、株洲冶煉集團(tuán)、柳州華錫集團(tuán)有限責(zé)任公司、中色(寧夏)東方集團(tuán)公司等。國內(nèi)由于ITO靶材生產(chǎn)工藝的局限性，靶材產(chǎn)品尺寸小，品質(zhì)不高，產(chǎn)品大多只能用于中、低端市場，國內(nèi)高端顯示器用靶材全部依賴進(jìn)口。

　　ITO靶材3種生產(chǎn)工藝各具特色

　　ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種：熱等靜壓法(HIP)、熱壓法(HP)和氣氛燒結(jié)法。各種生產(chǎn)工藝及其特點簡介如下。

　　熱等靜壓法

　　ITO靶材的熱等靜壓制作過程是將粉末或預(yù)先成形的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結(jié)。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機械性能好，但設(shè)備投入高，生產(chǎn)成本高，產(chǎn)品的缺氧率高。

　　熱壓法

　　ITO靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當(dāng)粉末以后，以 100kgf/cm 2～1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓，同時以1000℃～1600℃進(jìn)行燒結(jié)。