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中欣晶圓:連續(xù)成功拉制12寸450公斤投料晶棒
- 2021年8月17日,中欣晶圓首根12寸450公斤投料晶棒問世,該晶棒凈重437.7kg,體長2900mm,身長2400mm,良率達到87.6%,相較于之前300公斤投料量時的良率提高了4.6個百分點。9月5日喜報再次傳來,第二根12寸450公斤投料晶棒再次拉制成功,參數(shù)指標與第一根晶棒相差無異,公司目前已經(jīng)具備標準化量產(chǎn)12寸450公斤投料晶棒的技術(shù)和工藝水平。在全球范圍內(nèi),中欣晶圓是極少數(shù)幾家能做到成功拉制12寸450公斤投料晶棒的半導(dǎo)體硅片企業(yè)。中欣晶圓投料晶棒研發(fā)團隊相關(guān)人員表示:此次“超重”晶棒
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