介觀壓阻 文章 進(jìn)入介觀壓阻技術(shù)社區(qū)
介觀壓阻型微壓力傳感器設(shè)計(jì)
- 運(yùn)用共振隧穿雙勢壘(DBRT)結(jié)構(gòu)中的一種壓阻效應(yīng)原理一介觀壓阻效應(yīng)，用GaAs／AlAs/InGaAs DBRT結(jié)構(gòu)薄膜作為敏感元件，設(shè)計(jì)了一個(gè)周邊固支平膜片結(jié)構(gòu)的壓力傳感器。并對介觀壓阻和普通壓阻靈敏度的量級作出了比較，驗(yàn)證了介觀壓阻效應(yīng)原理，可以提高壓力傳感器的靈敏度，為制造基于介觀壓阻效應(yīng)的新型超敏感型傳感器提供了一定的理論依據(jù)。
- 關(guān)鍵字： 介觀壓阻 傳感器設(shè)計(jì) 壓力
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