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優(yōu)晶科技8英寸電阻法SiC單晶生長設(shè)備通過技術(shù)鑒定
- 6月7日,蘇州優(yōu)晶半導(dǎo)體科技股份有限公司(以下簡稱“優(yōu)晶科技”)宣布8英寸電阻法SiC單晶生長設(shè)備獲行業(yè)專家認(rèn)可,成功通過技術(shù)鑒定評審。鑒定委員會認(rèn)為,優(yōu)晶科技8英寸電阻法SiC晶體生長設(shè)備及工藝成果技術(shù)難度大,創(chuàng)新性強,突破了國內(nèi)大尺寸晶體生長技術(shù)瓶頸,擁有自主知識產(chǎn)權(quán),經(jīng)濟(jì)效益顯著。資料顯示,優(yōu)晶科技成立于2010年12月,專注于大尺寸(6英寸及以上)導(dǎo)電型SiC晶體生長設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)及銷售。該公司于2019年成功研制出6英寸電阻法SiC單晶生長設(shè)備,經(jīng)持續(xù)工藝優(yōu)化,目前已推出至第四代機型——UKIN
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