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KLA-Tencor 推出第十代電子束偵測(cè)系統(tǒng)
- KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）今天宣布推出 eS35 電子束偵測(cè)系統(tǒng)，該系統(tǒng)能夠以大幅提升的速度檢測(cè)和分類更小的物理缺陷，以及更細(xì)微的電子缺陷。eS35 屬于 KLA-Tencor 的第十代電子束偵測(cè)系統(tǒng)，它具備更高的靈敏度，改善了單機(jī)檢查和分類，并且顯著加強(qiáng)了吞吐能力，以提高 4Xnm 和 3Xnm 設(shè)備的良率。 KLA-Tencor 的電子束技術(shù)部集團(tuán)副總裁兼總工程師 Zain Saidin 表示：“電子束偵測(cè)對(duì)于捕獲和發(fā)現(xiàn)最小缺陷以及只能通過它們的電子
- 關(guān)鍵字： KLA-Tencor 電子束 偵測(cè) 半導(dǎo)體 微電子
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