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光刻試驗樣機文章進入光刻試驗樣機技術社區(qū)

我科學家另辟蹊徑造出9納米光刻試驗樣機

記者從武漢光電國家研究中心獲悉，該中心甘棕松團隊采用二束激光在自研的光刻膠上突破了光束衍射極限的限制，采用遠場光學的辦法，光刻出最小9納米線寬的線段，實現(xiàn)了從超分辨成像到超衍射極限光刻制造的重大創(chuàng)新。
關鍵字：光制造技術 9納米光刻試驗樣機

共1條 1/1 1

光刻試驗樣機介紹

您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條光刻試驗樣機!
歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對光刻試驗樣機的理解，并與今后在此搜索光刻試驗樣機的朋友們分享。創(chuàng)建詞條

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