光阻劑文章進(jìn)入光阻劑技術(shù)社區(qū)

DUV曝光機(jī)光阻劑力拼島內(nèi)自給核心材料明年供臺(tái)積電、聯(lián)電

中國(guó)臺(tái)灣自研重點(diǎn)放在半導(dǎo)體關(guān)鍵材料自主化，9家廠(chǎng)商年底將進(jìn)行終端產(chǎn)線(xiàn)驗(yàn)證。最快明年深紫外光（DUV）曝光機(jī)的光阻劑核心材料，可打入臺(tái)積電、聯(lián)電等代工大廠(chǎng)產(chǎn)線(xiàn)中。微影制程是在晶圓上制作電路圖案，隨著精細(xì)度有DUV、EUV（極紫外光）差別。光阻劑是一種光敏感材料，由樹(shù)脂、光敏感劑、溶劑和添加劑等組成，乃微影不可或缺重要材料。至于曝光機(jī)的光罩部份，島內(nèi)像是家登都有生產(chǎn)，比例已不低。但過(guò)去晶圓代工制程曾發(fā)生過(guò)光阻劑大缺貨，為了把關(guān)鍵材料掌握在自己手中，島內(nèi)推動(dòng)兩期半導(dǎo)體先進(jìn)制程與封裝材料研發(fā)。第一期202
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