化學(xué)氣相沉積平臺 文章 進(jìn)入化學(xué)氣相沉積平臺技術(shù)社區(qū)
諾發(fā)推出300mm VECTOR等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積平臺的最新增強(qiáng)版本
- 中國上?!Z發(fā)系統(tǒng)有限公司正式推出VECTOR Express™新產(chǎn)品。VECTOR Express™是諾發(fā)公司300mm VECTOR等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)平臺的最新增強(qiáng)版本。VECTOR Express的工藝生產(chǎn)速度提高了40%,保持了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)效率。此外,VECTOR Express還建立了薄膜工藝性能的新標(biāo)桿,使該設(shè)備能夠被延伸到45nm及以下工藝節(jié)點。 VECTOR Express之所以
- 關(guān)鍵字: 300mm VECTOR 單片機(jī) 等離子 化學(xué)氣相沉積平臺 諾發(fā) 嵌入式系統(tǒng) 最新增強(qiáng)版本 等離子顯示 PDP
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化學(xué)氣相沉積平臺介紹
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