- 壓力感應器之雙面接觸式是由三個硅晶片結合而成。為了得到很好效果的結合三個硅晶片都是需要嚴格的表面處理,這樣的話才能使壓力感應器的效果更加完美,對硅晶片的精度控制取決操作時的空間于是必須選擇在真空中來結
- 關鍵字:
缺點 接觸式 雙面 應器 壓力感
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