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	原位測量
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
                                
          
                  

                                
          
                    
          為刻蝕終點探測進行原位測量
          
                                                            
            
                    	
          • 介紹?半導(dǎo)體行業(yè)一直專注于使用先進的刻蝕設(shè)備和技術(shù)來實現(xiàn)圖形的微縮與先進技術(shù)的開發(fā)。隨著半導(dǎo)體器件尺寸縮減、工藝復(fù)雜程度提升，制造工藝中刻蝕工藝波動的影響將變得明顯?？涛g終點探測用于確定刻蝕工藝是否完成、且沒有剩余材料可供刻蝕。這類終點探測有助于最大限度地減少刻蝕速率波動的影響?？涛g終點探測需要在刻蝕工藝中進行傳感器和計量學(xué)測量。當(dāng)出現(xiàn)特定的傳感器測量結(jié)果或閾值時，可指示刻蝕設(shè)備停止刻蝕操作。如果已無材料可供刻蝕，底層材料（甚至整個器件或晶圓）就會遭受損壞，從而極大影響良率[1]，因此可靠的終點
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          • 關(guān)鍵字：
                        刻蝕終點探測  原位測量  泛林                          
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          原位測量介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條原位測量!
           
		      	歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對原位測量的理解，并與今后在此搜索原位測量的朋友們分享。    創(chuàng)建詞條
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
          熱門主題
          
      			
          
      			
          
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