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國產光刻膠通過量產驗證
- 據中國光谷官微消息，近日，武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡稱“太紫微公司”）推出的T150 A光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現(xiàn)配方全自主設計，有望開創(chuàng)國內半導體光刻制造新局面。據悉，該產品對標國際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱之為“妖膠”的國外同系列產品UV1610，T150 A在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達到120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗證發(fā)現(xiàn)T150 A中密集圖形經過刻蝕，下層介質的側壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異。據了
- 關鍵字： 太紫微光電 光刻膠 光刻技術
國產光刻膠通過量產驗證，武漢太紫微公司 T150 A 分辨率達 120nm
- 10 月 15 日消息，據武漢東湖新技術開發(fā)區(qū)管理委員會（中國光谷）今日消息，光谷企業(yè)在半導體專用光刻膠領域實現(xiàn)重大突破：武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡稱“太紫微公司”）推出的 T150 A 光刻膠產品，已通過半導體工藝量產驗證，實現(xiàn)配方全自主設計，有望開創(chuàng)國內半導體光刻制造新局面。中國光谷官方介紹稱：“該產品對標國際頭部企業(yè)主流 KrF 光刻膠系列。相較于被業(yè)內稱之為‘妖膠’的國外同系列產品 UV1610，T150 A 在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達到 120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅
- 關鍵字： 光刻膠 半導體 太紫微光電
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