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工藝設(shè)備文章進(jìn)入工藝設(shè)備技術(shù)社區(qū)

衛(wèi)光科技六吋線二期高端功率器件項(xiàng)目首臺(tái)重點(diǎn)工藝設(shè)備移入

近日，衛(wèi)光科技六吋線二期高端功率器件項(xiàng)目首臺(tái)重點(diǎn)工藝設(shè)備超薄晶圓減薄機(jī)DFG8540移入微晶微電子公司生產(chǎn)線。該設(shè)備是為滿足高端FS型IGBT器件超薄晶圓減薄工藝所需，主要用于6英寸硅片的圓片減薄工藝，可將硅片減薄至85um，同時(shí)可保證硅片的平整度。設(shè)備的引入將在推進(jìn)微晶微新產(chǎn)品工藝研發(fā)、新品研制等方面發(fā)揮引領(lǐng)作用。
關(guān)鍵字：衛(wèi)光科技高端功率器件工藝設(shè)備

聯(lián)景光電向RENA訂購(gòu)2690萬美元設(shè)備

　　聯(lián)華電子(UMC)旗下的子公司聯(lián)景光電(Topcell Solar International)近日向濕法化學(xué)工藝設(shè)備供應(yīng)商RENA訂購(gòu)了價(jià)值約為2690萬美元的設(shè)備。聯(lián)電的財(cái)報(bào)中并沒有披露此次訂購(gòu)設(shè)備的具體型號(hào)。　　
關(guān)鍵字：聯(lián)景光電工藝設(shè)備

共2條 1/1 1

工藝設(shè)備介紹

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