差分電容式 文章 進(jìn)入差分電容式技術(shù)社區(qū)
單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測(cè)系統(tǒng)
- 摘要：傳感器技術(shù)是信息社會(huì)的四大支柱之一，傳感器和計(jì)算機(jī)結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測(cè)，尤其是微小電容檢測(cè)的精度，是目前測(cè)控技術(shù)的熱點(diǎn)。本文重點(diǎn)介紹一套微小電容差分高精度檢測(cè)電路，該套電路可測(cè)物體的運(yùn)動(dòng)加速度，加速度計(jì)的分辨率可達(dá)2-18。 關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號(hào)調(diào)理；檢測(cè)電路 電容式傳感器工作原理 ? 電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
- 關(guān)鍵字： 單電容式 差分電容式 MEMS 傳感器 200803
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差分電容式介紹
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