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          硅電容差壓傳感器疊層靜電封接工藝研究
          
                                                            
                                        
            
                    	
          • 差壓傳感器廣泛應(yīng)用于武器裝備和工業(yè)過程控制。為了樹立用戶對國產(chǎn)品牌的信心，開發(fā)性能優(yōu)異、擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的差壓芯片是非常必要的。為了解決差壓芯片溫度特性差、靜壓偏差大的常見問題，本文提出了一種電容式差壓芯體雙面疊層靜電封接工藝設(shè)計(jì)方法，并對雙面疊層靜電封接的工藝參數(shù)：溫度、電壓、時(shí)間、表面光潔度、壓力等行了優(yōu)化，使其適合大規(guī)模生產(chǎn)。
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          • 關(guān)鍵字：
                        202301  硅電容  差壓  疊層  封接                          
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          彎管流量計(jì)的實(shí)用分析
          
                                                            
            
                    	
          • 摘要：介紹彎管流量計(jì)的工作原理。采用彎管流量計(jì)對前進(jìn)熱電廠3臺(tái)65t/h鍋爐、3臺(tái)1.2萬kW機(jī)組進(jìn)行改造，較好地...
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          • 關(guān)鍵字：
                        彎管流量計(jì)  差壓  熱電廠                          
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	共2條
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