微加速度計 文章 進入微加速度計技術(shù)社區(qū)
田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加速度計的設(shè)計與仿真
- 介紹了一種田字形單質(zhì)量塊三軸電容式微加速度計的設(shè)計與仿真。該加速度計以SOI晶圓作為基片，經(jīng)過氧化、光刻、干法刻蝕和濕法刻蝕等工藝步驟得到。通過支撐梁和3個軸的敏感結(jié)構(gòu)的巧妙設(shè)計，有效避免了平面內(nèi)和垂直方向的交叉軸干擾的影響，并提高了Z軸的靈敏度。通過差分電容的設(shè)計，理論上消除了交叉軸干擾。通過仿真得到了該加速度計在3個軸向上的靈敏度及抗沖擊能力。結(jié)合理論分析和ANSYS仿真結(jié)果，可以得出結(jié)論：所設(shè)計的加速度計擁有較低的交叉軸干擾、較高的靈敏度以及較強的抗沖擊能力，在慣性傳感器領(lǐng)域有一定的應(yīng)用前景。
- 關(guān)鍵字： 微加速度計 SOI 交叉軸干擾 靈敏度
一種基于微加速度計的無線教鞭系統(tǒng)設(shè)計
- 摘要：為彌補多媒體教學(xué)中激光筆的不足，提出了一種基于微加速度計的無線教鞭系統(tǒng)，它不僅具有激光筆上下翻頁的功能，而且能在空中自由靈活移動實現(xiàn)高精度點擊的功能，該系統(tǒng)以微加速度計ADXL345作為信號檢測元件，并采用低功耗低成本微控制器AT89S52和RF芯片nRF24 L01進行信息處理與無線傳榆，符合人體工程學(xué)設(shè)計，最大限度地滿足人們使用鼠標(biāo)時在手感以及舒適度和使用習(xí)慣方面的要求。 目前多媒體教學(xué)或會議演示中已經(jīng)用到無線教鞭，但是更多的只能用來文檔的翻頁，所以使用時還得配合有線或無線的鼠標(biāo)，正由
- 關(guān)鍵字： 無線教鞭系統(tǒng) 微加速度計 ADXL345
基于ARM和FPGA的微加速度計數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)設(shè)計
- 摘要：基于常用的MEMS慣性器件微型加速度計，介紹一種采用ARM和FPGA架構(gòu)來采集加速度數(shù)值的設(shè)計方案，微加速度計的模擬輸出信號經(jīng)A／D芯片轉(zhuǎn)換后由FPGA進行處理和緩存，然后ARM接收FPGA的輸出數(shù)據(jù)并對數(shù)據(jù)進行顯示和
- 關(guān)鍵字： FPGA ARM 微加速度計 數(shù)據(jù)采集
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