微影系統(tǒng) 文章 進入微影系統(tǒng)技術社區(qū)
ASML接獲設備大單 EUV微影商用進展邁大步
- 微影設備制造商ASML近期宣布，接獲美國一家主要客戶十五部EUV機臺訂單，并將于今年底開始陸續(xù)出貨;同時間，日本光阻材料大廠JSR也與IMEC合資成立新公司，致力生產(chǎn)EUV微影所需的光阻劑，為EUV微影技術的商用發(fā)展揭橥新的里程碑。 極紫外光微影(EUV Lithography)技術發(fā)展大有斬獲。半導體設備供應商艾司摩爾(ASML)日前公開宣布，該公司與美國一家主要客戶已簽屬協(xié)議書，將提供至少十五臺的最新一代EUV微影系統(tǒng)機臺，以支援不斷增加的制程開發(fā)活動和未來世代制程的試量產(chǎn)。 雙方交易
- 關鍵字： ASML 微影系統(tǒng)
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微影系統(tǒng)介紹
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