微系統(tǒng) 文章 進(jìn)入微系統(tǒng)技術(shù)社區(qū)
LiZnVO4液相摻雜改善SnO2系濕敏材料性能
- 0引 言 陶瓷濕敏元件在特定的應(yīng)用場(chǎng)合，以高分子電容式濕敏元件不可替代的優(yōu)點(diǎn)(如，靈敏度高、耐高溫高濕等)受到人們的普遍關(guān)注。SnO2廣泛用于氣敏材料，同時(shí)，由SnO2電阻率隨溫度上升而成指數(shù)下降的特性可以作為負(fù)溫度系數(shù)熱敏陶瓷使用，然而，SnO2作為濕敏材料的研究甚少，在SnO2中加入LiZnVO4對(duì)其微結(jié)構(gòu)和濕敏性能的研究至今還未有文獻(xiàn)報(bào)道。SnO2-LiZnVO4系濕敏元件屬陶瓷-玻璃復(fù)合結(jié)構(gòu)，既有燒結(jié)體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、抗污染的優(yōu)點(diǎn)，又有玻璃感濕層使器件靈敏度高、老化性能好的優(yōu)點(diǎn)。SnO2屬金紅
- 關(guān)鍵字： 傳感器 微系統(tǒng) 陶瓷濕敏元件 高分子電容式濕敏元件 SnO2 LiZnVO4
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