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MEMS陀螺儀在惡劣高溫環(huán)境下提供準(zhǔn)確的慣性檢測
- 摘要越來越多的應(yīng)用需要從處于高溫環(huán)境中的傳感器收集數(shù)據(jù)。近年來，半導(dǎo)體、無源器件和互連領(lǐng)域取得了很大進展，使得高精度數(shù)據(jù)采集和處理成為可能。但是，人們需要能夠在175°C高溫條件下運行的傳感器，尤其是采用微機電系統(tǒng)(MEMS)提供的易于使用的傳感器，這一需求尚未得到滿足。相比同等的分立式傳感器，MEMS通常更小巧，功耗和成本都更低。此外，它們還可以在同樣大小的半導(dǎo)體封裝內(nèi)集成信號調(diào)理電路。目前已發(fā)布高溫MEMS加速度計ADXL206，它可以提供高精度傾斜（傾角）測量。但是，還需要更加靈活和自由，以準(zhǔn)確測量
- 關(guān)鍵字： MEMS 陀螺儀 慣性檢測
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