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薄晶圓系統(tǒng)提高批量制造超薄晶圓處理能力
- 基于極其成功的Galaxy印刷設備，得可已利用卓越的精準技術(shù)開發(fā)了專門處理超薄晶圓的系統(tǒng)。新的Galaxy薄晶圓系統(tǒng)提供杰出的穩(wěn)定性、工藝能力提高到Cp>2@+/-12.5μm、并擁有先進的速度和加速控制，確保強健地處理當今易損的晶圓產(chǎn)品。 Galaxy薄晶圓系統(tǒng)的杰出工藝能力核心是專業(yè)設計的晶圓托盤，提供輸送和加工75微米薄晶圓時正確固定晶圓所需的支撐和穩(wěn)定性。約400毫米見方的得可晶圓托盤，平整度小于10微米，且能容納300毫米大的晶圓。仔細的選擇和多孔材料的使用確保薄晶圓的安全
- 關鍵字： Galaxy 晶圓 托盤
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