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          薄晶圓系統(tǒng)提高批量制造超薄晶圓處理能力
          
                                                            
            
                    	
          • 　　基于極其成功的Galaxy印刷設備，得可已利用卓越的精準技術開發(fā)了專門處理超薄晶圓的系統(tǒng)。新的Galaxy薄晶圓系統(tǒng)提供杰出的穩(wěn)定性、工藝能力提高到Cp>2@+/-12.5μm、并擁有先進的速度和加速控制，確保強健地處理當今易損的晶圓產品。
　　Galaxy薄晶圓系統(tǒng)的杰出工藝能力核心是專業(yè)設計的晶圓托盤，提供輸送和加工75微米薄晶圓時正確固定晶圓所需的支撐和穩(wěn)定性。約400毫米見方的得可晶圓托盤，平整度小于10微米，且能容納300毫米大的晶圓。仔細的選擇和多孔材料的使用確保薄晶圓的安全
            • 
                    	                        
          • 關鍵字：
                        Galaxy  晶圓  托盤                          
            • 
                   	
          
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
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