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          日立高新 文章 進入日立高新技術社區

          日立高新技術公司部宣布推出其GT2000高精度電子束測量系統

          • 日立高新技術公司宣布推出其GT2000高精度電子束測量系統。GT2000利用日立高新技術在CD-SEM*1方面的技術和專業知識,在那里占有最大的市場份額。GT2000配備了用于尖端3D半導體器件的新型檢測系統。它還利用低損傷高速多點測量功能用于high-NA EUV*2抗蝕劑晶片成像,以最小化抗蝕劑損傷并提高批量生產的產率。日立高新技術(Hitachi High-Tech)GT2000 CD-SEM將能夠實現高級半導體器件制造過程中的高精度、高速測量和檢測,這些半導體器件正變得越來越小型化和復雜化,并有助
          • 關鍵字: 日立高新  測試測量  GAA  CFET  
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          日立高新介紹

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