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晶片鍵合質(zhì)量的紅外檢測系統(tǒng)設(shè)計
- 本文主要討論以晶片的紅外透射原理為基礎(chǔ)，設(shè)計和搭建了紅外檢測裝置及相關(guān)的軟件模塊，并同硅片鍵合裝置結(jié)合，實現(xiàn)快速有效的在線鍵合工藝監(jiān)控和晶片鍵合質(zhì)量的初步評估。
- 關(guān)鍵字： 晶片鍵合 紅外檢測 質(zhì)量 系統(tǒng)設(shè)計
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