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          Lasertec護膜和掩膜雜質粒子檢查設備
          
                                                            
            
                    	
          • Lasertec日前宣布成功地推出了新型護膜和掩膜異物檢查設備——PEGSIS P100。這個設備能與90nm甚至更小尺寸半導體器件設計規(guī)則的掩膜兼容，具有很高的檢查速率和靈敏度。Lasertec將這個產(chǎn)品視為2006年之前的旗艦產(chǎn)品，計劃在2006年受理10部訂單。 該設備不僅將檢測靈敏度提高到了4μm，還能通過明視場檢查進行缺陷檢測。只要缺陷的種類清楚了，就能選擇合理的洗凈方法。今后幾個月內還將配備可清除異物的選配功能，據(jù)介紹能夠當場清除異物。包括掩膜搬運等時間在內護膜表面和掩膜背面的檢測時
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          • 關鍵字：
                        Lasertec  護膜和掩膜  檢查設備  雜質粒子                          
            • 
                   	
          
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
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          檢查設備介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	您好，目前還沒有人創(chuàng)建詞條檢查設備!
           
		      	歡迎您創(chuàng)建該詞條，闡述對檢查設備的理解，并與今后在此搜索檢查設備的朋友們分享。    創(chuàng)建詞條
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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