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          波導(dǎo)SOl化學(xué)氣相沉積工藝特點(diǎn)

          • 對(duì)于SOl波導(dǎo)來說,CVD技術(shù)一般用來淀積其上包層,通常為二氧化硅或氮化硅。對(duì)于調(diào)制器等有源器件來說,這一層還起著隔離金屬電極減小電極對(duì)波導(dǎo)造成損耗的作用,所以厚度一定要選擇合適,不能太薄,如果薄了就不能起
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          基于MEMS技術(shù)的微型氣相色譜柱的研究(

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          • 氣相色譜(GC)的基本原理GC是以惰性氣體作為流動(dòng)相,利用式樣中個(gè)組分在色譜柱中的氣相和固定相間的分配系數(shù) ...
          • 關(guān)鍵字: 氣相  色譜  
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          氣相介紹

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