氮化硅生產(chǎn) 文章 進入氮化硅生產(chǎn)技術社區(qū)
N2 Purge在LPCVD爐管氮化硅工藝中的應用
- 在亞微米的生產(chǎn)制造技術中，氮化硅工藝的particle已經(jīng)成為產(chǎn)品良率的主要影響因素。本文主要針對立式LPCVD氮...
- 關鍵字： N2 purge 氮化硅生產(chǎn) Particle問題
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氮化硅生產(chǎn)介紹
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