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摻硼p+-Si外延層厚度的測試方法

0引言Si外延層厚度的測量方法有多種，主要包括稱重法、層錯法、磨角染色法、解理法和紅外干涉法。這些方法各具特點與適用范圍，例如，采用紅外干射法進行測量時，要求襯底表面對入射光具有足夠的反射能力。半導體材料對紅外...
關(guān)鍵字：測試方法p+-Si外延層腐蝕速率摻雜濃度摻

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