海洋光學 文章 進入海洋光學技術社區(qū)
基于光學發(fā)射光譜法監(jiān)測等離子體的光譜峰
- 海洋光學（Ocean Optics）長期以來一直為半導體工藝設備供應商的新材料研究提供強大支持，同時協(xié)助用戶克服等離子刻蝕、沉積、涂層和清潔等方面的困難和挑戰(zhàn)。海洋光學的光譜儀，基于光學發(fā)射光譜技術，被廣泛應用于等離子體監(jiān)測，并在刻蝕終點檢測方面表現(xiàn)出色。實驗配置：實驗采用光學發(fā)射光譜（OES）方法，分別使用紫外波段的ST微型光譜儀、通用型SR4光譜儀以及高分辨率的HR4和HR6光譜儀進行測試。所有光譜儀均配置了25μm的狹縫，積分時間設定為1秒，平均次數(shù)設置為1，滑動平均設置在0-1之間。根據(jù)具體使用情
- 關鍵字： 光學發(fā)射光譜法 等離子體 海洋光學
Ocean Optics品牌再現(xiàn)江湖,海洋光學Ocean Insight正式宣布品牌重組
- 經(jīng)過一系列的并購與整合，世界領先的光學解決方案提供商、英國豪邁集團子公司海洋光學（Ocean?Insight）于近日宣布已順利完成品牌重組，重新推出該公司標志性微型光纖光譜儀品牌“Ocean Optics”。此次品牌重組對海洋光學的發(fā)展至關重要。Ocean Insight將作為主品牌，并通過三個行業(yè)領先的子品牌Ocean Optics、Ocean Applied、International Light為客戶提供光學傳感解決方案，這一強勁的品牌組合將促使其具備更大的市場影響力。同時，此次重組對行業(yè)
- 關鍵字： Ocean Optics 海洋光學 Ocean Insight
助力晶圓生產(chǎn)工藝改進，海洋光學參加2022中國半導體設備年會
- 中國上海，2022年10月25日 —— 世界領先的光學解決方案提供商海洋光學（Ocean Insight）將參加于10月27日~29日在無錫太湖國際博覽中心召開的第十屆(2022)中國半導體設備年會暨半導體設備與核心部件展示會(CSEAC)。展位號B3-117，海洋光學攜最新改善半導體制造工藝的光譜解決方案參展?！澳坌竞狭?，發(fā)展芯設備”是這次大會的主題，產(chǎn)業(yè)升級是國家的大方向，中國半導體產(chǎn)業(yè)正在加速前進，海洋光學利用自己在光譜技術領域的多年積累，解決創(chuàng)新過程中遇到的問題，與產(chǎn)業(yè)伙伴合力推進創(chuàng)新發(fā)展。&n
- 關鍵字： 晶圓生產(chǎn)工藝 海洋光學 2022中國半導體設備年會
賦能半導體、新材料等行業(yè)現(xiàn)代化進程，海洋光學推出新一代光纖光譜儀Ocean ST
- 中國上海，2022年9月23日——剛剛，海洋光學推出新一代微型光纖光譜儀Ocean ST，以超小體積、出色性能，實現(xiàn)微型光譜儀的重大突破，是名副其實的“掌中寶”，為客戶提供超高性價比的體驗，為半導體、新材料、生物醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測等行業(yè)在現(xiàn)代化進程中面對的時代新挑戰(zhàn)賦能。近年來，由于全球制造業(yè)迎來“工業(yè)4.0”時代，經(jīng)濟快速發(fā)展以及環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療和生命科學、半導體等領域的現(xiàn)代化進程加快，用戶對光譜儀的需求量增多，同時對光譜儀的性能、體積等提出了更高的要求。此外，隨著對工業(yè)、環(huán)保的要求日益嚴苛，檢測設備的準確度
- 關鍵字： 海洋光學 光纖光譜儀 Ocean ST
海洋光學30年|沿著舊地圖找不到新大陸
- 這是一篇Mike Morris在全球代理商培訓上的發(fā)言。2008年5月14日。佛羅里達州達尼丁市，海洋光學辦公室。Mike：當Rob和我談起，打算讓我做一個關于創(chuàng)新的簡短發(fā)言的時候，我有點猶豫。他說：哦，只要做以前做過的講演就可以了，不需要甚么創(chuàng)新。Rob：事實不是這樣的?。?就像當Mike告訴我他要退休的時候，我吃驚的頭都磕到桌子上，縫了三針，然后他還為此責備我一樣的不真實！其實，Mike的意思是說，當我給他電話談到此事的時候，他的確猶豫了好一陣子。Mike：Rob不知道，我更關心“簡短”而不是“創(chuàng)新”
- 關鍵字： 海洋光學 光譜儀
海洋光學30年|從小魚到機遇之海
- 海洋光學起步于80年代末，由聯(lián)邦撥款資助的海洋pH傳感器。作為他們工作的一部分，海洋團隊需要一個緊湊的光譜儀，以適應一個小型的水下外殼，并驚訝地發(fā)現(xiàn)沒有這樣的儀器。因此，他們自己做了一個。到1992年，"世界上第一個微型光譜儀 "開創(chuàng)了利用光譜學的新方式。今天，作為Ocean Insight，他們的技術在不斷發(fā)展，他們的產(chǎn)品在不斷擴大，而客戶仍然是重要的合作伙伴。那是1986年，佛羅里達州達尼丁市海洋光學創(chuàng)始人Michael Morris當時在南佛羅里達大學(USF)的技術轉移辦公室工
- 關鍵字： 海洋光學 光譜儀
助力提升芯片質量和產(chǎn)量，半導體工藝監(jiān)測中的光譜應用
- 根據(jù)檢測工藝所處的環(huán)節(jié)，IC集成電路檢測被分為設計驗證、前道量檢測和后道檢測。前道量測、檢測均會用到光學技術和電子束技術，其中光學量測通過分析光的反射、衍射光譜間接進行測量，其優(yōu)點是速度快、分辨率高、非破壞性。后道檢測工藝是芯片生產(chǎn)線的“質檢員”，根據(jù)工藝在封裝環(huán)節(jié)的前后順序，后道檢測可以分為CP測試和FT測試。在以上測試中，光譜儀可以用于膜厚測量、蝕刻終點監(jiān)控等工藝中。(一)膜厚測量半導體集成電路的生產(chǎn)以數(shù)十次至數(shù)百次的鍍膜、光刻、蝕刻、去膜、平坦等為主要工序，膜層的厚度、均勻性等直接影響芯片的質量和產(chǎn)
- 關鍵字： 膜厚測量 海洋光學 半導體工藝監(jiān)測 光譜應用
海洋光學的XR系列光譜儀覆蓋~200-1050納米波長
- 微型光譜儀行業(yè)領導者海洋光學(Ocean Optics)的暢銷微型光纖光譜儀目前能測量更寬的波長范圍。把XR系列光柵用于USB2000+、 JAZ-EL2000及USB4000后，僅需一臺光譜儀就可輕松覆蓋~200-1050納米之間的所有波長。 海洋光學(Ocean Optics)研發(fā)的新型XR-1光柵選項克服了在單個微型光譜儀中提供UV-NIR(紫外-近紅外)寬測量范圍的難題。光柵密度為500條/毫米，性能表現(xiàn)優(yōu)異，可減少預算開支，無需對原由系統(tǒng)作改動。XR-1光柵現(xiàn)可預置在USB2000+、
- 關鍵字： 海洋光學 測量 光纖光譜儀
海洋光學介紹
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