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石英晶體諧振式絕對壓力傳感器研制

• 　　0引 言 　　諧振式石英晶體壓力傳感器以其高精度，良好的長期穩(wěn)定性廣泛應(yīng)用于氣壓與高度測量、壓力自動(dòng)校準(zhǔn)以及精密過程控制等。這種高精度石英晶體壓力傳感器在結(jié)構(gòu)形式上主要有2種形式，一種是厚膜切變模式，將石英晶體加工成透鏡模式，在透鏡上制作電極，利用其振動(dòng)頻率與所受壓力的變化關(guān)系來檢測壓力的大小，這種傳感器對透鏡和電極的加工工藝要求很高，產(chǎn)品制造難度大，現(xiàn)已逐漸被其他結(jié)構(gòu)取代；另一種是以石英諧振梁為力敏元件，用波登管或金屬膜盒來感受壓力，并將壓力轉(zhuǎn)換成力作用到諧振梁上，諧振梁的頻率隨作用壓力變化而變化
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