真空環(huán)境 文章 進(jìn)入真空環(huán)境技術(shù)社區(qū)

尼得科儀器株式會(huì)社開發(fā)出適用于真空環(huán)境的液晶基板搬運(yùn)機(jī)器人

• 尼得科株式會(huì)社的集團(tuán)公司尼得科儀器株式會(huì)社（舊日本電產(chǎn)三協(xié)）開發(fā)出了能夠在真空環(huán)境下工作的液晶基板搬運(yùn)機(jī)器人，該機(jī)器人具有與在大氣環(huán)境下工作同等的關(guān)節(jié)自由度。  在液晶面板和有機(jī)EL等顯示器的制造工藝中，為了同時(shí)實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的削減和屏幕尺寸的大型化，不斷需要更大的母玻璃基板和更快的處理速度。由于可搬運(yùn)的玻璃尺寸越大搬運(yùn)效率就越高，因此近年來對(duì)3m×3m大尺寸母玻璃基板的搬運(yùn)需求不斷增加。母玻璃基板的薄膜處理、蒸鍍等工藝需要極高潔凈度的真空環(huán)境，因此，搬運(yùn)機(jī)器人也必須具備能承受真空環(huán)境的性能。&n
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