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硅微文章進入硅微技術社區(qū)

有機械耦合的電容式硅微陀螺敏感信號讀取

一、前言硅微機械傳感器是用半導體硅加工工藝實現的傳感器。體積小使其獲得廣泛的應用前景。但是由于體積小，微小的絕對機械誤差卻產生較大的相對誤差，帶來運動交互干擾，即機械耦合問題。電容式硅微機械陀
關鍵字：機械耦合電容式硅微讀取

共1條 1/1 1

硅微介紹

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