離子注入機(jī) 文章進(jìn)入離子注入機(jī)技術(shù)社區(qū)

國產(chǎn)65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入晶圓生產(chǎn)線

　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測(cè)試與器件工藝檢驗(yàn)，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。　　
關(guān)鍵字：中科信離子注入機(jī)

　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機(jī)進(jìn)入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測(cè)試與器件工藝檢驗(yàn)，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實(shí)現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。這是國產(chǎn)高端離子注入機(jī)首次進(jìn)入300mm主流生產(chǎn)線，表明國內(nèi)的離子注入機(jī)研制已經(jīng)逐步達(dá)到世界主流技術(shù)水平。　　
關(guān)鍵字：離子注入機(jī) 300mm晶圓

　　9月底，日本日新離子機(jī)株式會(huì)社與揚(yáng)州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)簽訂了合作協(xié)議。日新株式會(huì)社將在揚(yáng)州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)投資興建離子注入機(jī)設(shè)備生產(chǎn)廠。這是日新首個(gè)在日本國土外設(shè)立的生產(chǎn)基地。市委書記王燕文會(huì)見了前來簽約的日新株式會(huì)社社長長井宣夫并見證了簽約儀式。市委常委、秘書長盧桂平參加相關(guān)活動(dòng)。　　據(jù)了解，日新離子機(jī)株式會(huì)社是世界三大離子注入機(jī)供應(yīng)商之一。截至2009年，公司產(chǎn)品占日本市場(chǎng)的90%左右，約占亞太市場(chǎng)的53%。日本東芝、NEC，韓國三星，以及臺(tái)灣臺(tái)積電、聯(lián)電、茂德和力晶，大陸海力士、中芯國際、華虹NE
關(guān)鍵字：日新離子注入機(jī)

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