等離子沉積系統(tǒng) 文章 進入等離子沉積系統(tǒng)技術社區(qū)
東方集成在上海安裝了等離子體沉積系統(tǒng)
- 2012年3月，東方集成在上海某研究所成功安裝了SENTECH SI500D等離子體沉積系統(tǒng)。SI500D等離子沉積系統(tǒng)是ICP-PECVD設備，用于在基片上沉積 SiOx, SiOxNy或 SiNy薄膜。沉積薄膜的厚度、折射率、應力可以簡單的、連續(xù)的調節(jié)。
- 關鍵字： 東方集成 等離子沉積系統(tǒng)
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等離子沉積系統(tǒng)介紹
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