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基于SCR結(jié)構(gòu)的納米工藝ESD防護(hù)器件研究
- 摘要：本文主要針對(duì)用于ESD防護(hù)的SCR結(jié)構(gòu)進(jìn)行了研究。通過對(duì)其ESD泄放能力和工作機(jī)理的研究，為納米工藝下的IC ...
- 關(guān)鍵字： SCR結(jié)構(gòu) 納米工藝 ESD防護(hù)器
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納米工藝介紹
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